一种直拉单晶硅直径测量方法

    公开(公告)号:CN104990510B

    公开(公告)日:2017-10-17

    申请号:CN201510403243.4

    申请日:2015-07-11

    IPC分类号: G01B11/08

    摘要: 本发明提供一种直拉单晶硅直径测量方法,以相对简单的结构、便捷的管理方式、精确的测量手段,通过非完整圆直径测量来相对准确地适时测量出单晶硅生产过程中的直径尺寸。结构简单、紧凑;使用操作方便、有效、快捷;占用空间小;反应迅速;取样点科学;测量值准确。

    一种直拉单晶硅直径测量方法

    公开(公告)号:CN104990510A

    公开(公告)日:2015-10-21

    申请号:CN201510403243.4

    申请日:2015-07-11

    IPC分类号: G01B11/08

    摘要: 本发明提供一种直拉单晶硅直径测量方法,以相对简单的结构、便捷的管理方式、精确的测量手段,通过非完整圆直径测量来相对准确地适时测量出单晶硅生产过程中的直径尺寸。结构简单、紧凑;使用操作方便、有效、快捷;占用空间小;反应迅速;取样点科学;测量值准确。