一种可变式双层金属板空心阴极装置

    公开(公告)号:CN209428580U

    公开(公告)日:2019-09-24

    申请号:CN201920025393.X

    申请日:2019-01-08

    申请人: 烟台大学

    IPC分类号: C23C8/36

    摘要: 本实用新型公开了一种可变式双层金属板空心阴极装置,包括四块相互连接围置呈矩形结构的双层式金属板;各金属板通过一侧边与其相邻的金属板内侧面活动连接,以配置为调整矩形结构的大小;该装置可以在避免弧光放电、空心阴极效应等传统技术存在的缺陷的同时,采用了可变式结构设计,可以用于加工多种类型的零件,使用范围更广,实用性更加,使用更加方便灵活。