公开(公告)号：CN103898453A

公开(公告)日：2014-07-02

申请号：CN201310326007.8

申请日：2013-07-30

申请人： 爱发科低温泵株式会社

发明人： 安田淳一 ,  降矢新治 ,  森本秀敏 ,  増田行男

IPC分类号： C23C14/34

摘要： 本发明提供一种结构简单的冷却装置。其可根据处理对象的姿势有效地冷却处理对象。所述冷却装置（RU1）具有冷冻机（2）和由冷冻机冷却的冷却面板（1），使冷却面板的主面（1a）与处理对象（S）接近或接触从而冷却处理对象。以冷却面板的主面与处理对象接近或接触时冷却面板的姿势为第一姿势，以冷却面板的主面从处理对象分离时冷却面板的姿势为第二姿势，冷却面板设置在处理室内，在第一姿势和第二姿势之间自由摆动，并且冷却面板是第一姿势和第二姿势中至少一种时冷冻机的冷却头（21）与冷却面板接触，通过热传递冷却冷却面板。

公开(公告)号：CN103898453B

公开(公告)日：2017-10-13

申请号：CN201310326007.8

申请日：2013-07-30

申请人： 爱发科低温泵株式会社

发明人： 安田淳一 ,  降矢新治 ,  森本秀敏 ,  増田行男

IPC分类号： C23C14/34

摘要： 本发明提供一种结构简单的冷却装置。其可根据处理对象的姿势有效地冷却处理对象。所述冷却装置（RU1）具有冷冻机（2）和由冷冻机冷却的冷却面板（1），使冷却面板的主面（1a）与处理对象（S）接近或接触从而冷却处理对象。以冷却面板的主面与处理对象接近或接触时冷却面板的姿势为第一姿势，以冷却面板的主面从处理对象分离时冷却面板的姿势为第二姿势，冷却面板设置在处理室内，在第一姿势和第二姿势之间自由摆动，并且冷却面板是第一姿势和第二姿势中至少一种时冷冻机的冷却头（21）与冷却面板接触，通过热传递冷却冷却面板。