低温冷阱
    1.
    发明授权

    公开(公告)号:CN106352663B

    公开(公告)日:2020-01-17

    申请号:CN201610536942.0

    申请日:2016-07-08

    Abstract: 本发明的低温冷阱在与作为被脱气空间的腔室连接的箱体内,由机械式冷冻机冷却的低温板被设置为与箱体壁隔开,其中,所述低温板的板面被设置为朝向所述腔室内的脱气对象,所述低温冷阱具备被设置于所述板面的前方的孔板。

    低温冷阱
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN106345137A

    公开(公告)日:2017-01-25

    申请号:CN201610535053.2

    申请日:2016-07-08

    CPC classification number: B01D8/00

    Abstract: 本发明的低温冷阱在与作为被脱气空间的腔室连接的箱体内,由机械式冷冻机冷却的低温板被设置为与箱体壁隔开,其中,在所述低温冷阱中设置有冷却分离隔壁,所述冷却分离隔壁与所述低温板的一侧板面相接,并且所述冷却分离隔壁将所述箱体内分离为所述腔室侧的第一空间和所述低温板侧的第二空间。

    冷却装置
    4.
    发明授权

    公开(公告)号:CN103898453B

    公开(公告)日:2017-10-13

    申请号:CN201310326007.8

    申请日:2013-07-30

    Abstract: 本发明提供一种结构简单的冷却装置。其可根据处理对象的姿势有效地冷却处理对象。所述冷却装置(RU1)具有冷冻机(2)和由冷冻机冷却的冷却面板(1),使冷却面板的主面(1a)与处理对象(S)接近或接触从而冷却处理对象。以冷却面板的主面与处理对象接近或接触时冷却面板的姿势为第一姿势,以冷却面板的主面从处理对象分离时冷却面板的姿势为第二姿势,冷却面板设置在处理室内,在第一姿势和第二姿势之间自由摆动,并且冷却面板是第一姿势和第二姿势中至少一种时冷冻机的冷却头(21)与冷却面板接触,通过热传递冷却冷却面板。

    低温冷阱
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN106352663A

    公开(公告)日:2017-01-25

    申请号:CN201610536942.0

    申请日:2016-07-08

    Abstract: 本发明的低温冷阱在与作为被脱气空间的腔室连接的箱体内,由机械式冷冻机冷却的低温板被设置为与箱体壁隔开,其中,所述低温板的板面被设置为朝向所述腔室内的脱气对象,所述低温冷阱具备被设置于所述板面的前方的孔板。

    低温冷阱
    7.
    发明授权

    公开(公告)号:CN106345137B

    公开(公告)日:2018-11-02

    申请号:CN201610535053.2

    申请日:2016-07-08

    Abstract: 本发明的低温冷阱在与作为被脱气空间的腔室连接的箱体内,由机械式冷冻机冷却的低温板被设置为与箱体壁隔开,其中,在所述低温冷阱中设置有冷却分离隔壁,所述冷却分离隔壁与所述低温板的一侧板面相接,并且所述冷却分离隔壁将所述箱体内分离为所述腔室侧的第一空间和所述低温板侧的第二空间。

    冷却装置
    8.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103898453A

    公开(公告)日:2014-07-02

    申请号:CN201310326007.8

    申请日:2013-07-30

    Abstract: 本发明提供一种结构简单的冷却装置。其可根据处理对象的姿势有效地冷却处理对象。所述冷却装置(RU1)具有冷冻机(2)和由冷冻机冷却的冷却面板(1),使冷却面板的主面(1a)与处理对象(S)接近或接触从而冷却处理对象。以冷却面板的主面与处理对象接近或接触时冷却面板的姿势为第一姿势,以冷却面板的主面从处理对象分离时冷却面板的姿势为第二姿势,冷却面板设置在处理室内,在第一姿势和第二姿势之间自由摆动,并且冷却面板是第一姿势和第二姿势中至少一种时冷冻机的冷却头(21)与冷却面板接触,通过热传递冷却冷却面板。

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