公开(公告)号：CN113924417B

公开(公告)日：2024-08-09

申请号：CN202080039999.4

申请日：2020-05-29

申请人： 爱德华兹有限公司

发明人： A·D·周 ,  P·C·拉姆

IPC分类号： F04D19/04 ,  F04D29/02 ,  F04D29/58 ,  F04B37/02 ,  F04B37/04

摘要： 公开了涡轮分子泵、真空抽吸系统和排空真空腔室的方法。涡轮分子泵包括：包括多个转子叶片排的转子、包括多个定子叶片排的定子以及外部壳体，转子被可旋转地安装在定子内；其中转子和定子中的至少一者的表面的至少一部分包括非蒸发型吸气剂材料。

公开(公告)号：CN113924417A

公开(公告)日：2022-01-11

申请号：CN202080039999.4

申请日：2020-05-29

申请人： 爱德华兹有限公司

发明人： A·D·周 ,  P·C·拉姆

IPC分类号： F04D19/04 ,  F04D29/02 ,  F04D29/58 ,  F04B37/02 ,  F04B37/04

摘要： 公开了涡轮分子泵、真空抽吸系统和排空真空腔室的方法。涡轮分子泵包括：包括多个转子叶片排的转子、包括多个定子叶片排的定子以及外部壳体，转子被可旋转地安装在定子内；其中转子和定子中的至少一者的表面的至少一部分包括非蒸发型吸气剂材料。