公开(公告)号：CN112095089A

公开(公告)日：2020-12-18

申请号：CN201911240311.4

申请日：2019-12-06

申请人： 爱思开海力士有限公司 ,  株式会社EUGENE科技

发明人： 郑珉珍 ,  金泰焕 ,  姜民雄 ,  刘炫准 ,  姜盛皓 ,  朴松焕 ,  金甫宣 ,  李弘源 ,  赵柱铉 ,  晋龙铎

IPC分类号： C23C16/44 ,  C23C16/52 ,  H01L21/67

摘要： 一种用于处理衬底的装置包括：反应管、侧盖、加热器、第一气体供应器、第二气体供应器和控制器。反应管被配置为容纳衬底舟皿以处理衬底，在所述衬底舟皿中容纳多个衬底。侧盖被配置为容纳反应管。加热器衬在侧盖的内部。第一气体供应器设置于侧盖的上部，以第一供应速率将冷却气体供应到侧盖与反应管之间的空间。第二气体供应器设置于侧盖的下部，以不同于第一供应速率的第二供应速率将冷却气体供应到侧盖和反应管之间的空间。所述控制器控制所述反应管。