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公开(公告)号:CN118804996A
公开(公告)日:2024-10-18
申请号:CN202380025241.9
申请日:2023-02-27
申请人: 爱恩卡夫特有限责任公司
发明人: M·亚瑞兹
IPC分类号: C23C16/40 , C23C16/511 , C23C16/515 , C23C16/04 , C23C16/02 , C08J7/04 , C08J7/048 , B05D1/00
摘要: 本发明涉及通过等离子体增强化学气相沉积(PECVD)进行塑料涂层的领域。通过本发明,特别是用于储存侵蚀性化学品的可回收再利用的塑料容器能够被涂覆稳定的迁移屏障。本发明公开了一种工艺和一种涂层。利用该工艺,可以由至少一种前体和反应气体的工艺气体混合物沉积涂层,该反应气体被激发形成等离子体。通过调整工艺气体混合物中的反应气体含量和改变与质量相关的激发能量,可以在塑料基板上沉积梯度涂层而产生化学抗性的迁移屏障。