-
公开(公告)号:CN1333875A
公开(公告)日:2002-01-30
申请号:CN99815447.4
申请日:1999-11-05
申请人: 特瑞克股份有限公司
CPC分类号: G01Q60/30 , Y10S977/852 , Y10S977/864
摘要: 一种测量被测样品(40)的静电力的静电力显微镜,包括:检测器(10),其悬臂(12)在一端有一尖头形状(14),且定位成在尖头上由被测样品上的静电电荷感应出静电力;光学系统(20),用于将尖头上感应的静电力造成的悬臂弯曲转换成电信号,且含有尖头上感应的静电力的频率分量;向检测器加偏压的源(92);检测器电路(30),用于检测检测器尖头感应的静电力的频率分量,中测量被测样品上的静电力;以及在操作上与悬臂相关联的静电屏蔽。
-
公开(公告)号:CN1244817C
公开(公告)日:2006-03-08
申请号:CN99815447.4
申请日:1999-11-05
申请人: 特瑞克股份有限公司
CPC分类号: G01Q60/30 , Y10S977/852 , Y10S977/864
摘要: 一种测量被测样品(40)的静电力的静电力显微镜,包括:检测器(10),其悬臂(12)在一端有一尖头形状(14),且定位成在尖头上由被测样品上的静电电荷感应出静电力;光学系统(20),用于将头头上感应的静电力造成的悬臂弯曲转换成电信号,且含有尖头上感应的静电力的频率分量;向检测器加偏压的源(92);检测器电路(30),用于检测检测器尖头感应的静电力的频率分量,中测量被测样品上的静电力;以及在操作上与悬臂相关联的静电屏蔽。
-