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公开(公告)号:CN1244817C
公开(公告)日:2006-03-08
申请号:CN99815447.4
申请日:1999-11-05
申请人: 特瑞克股份有限公司
CPC分类号: G01Q60/30 , Y10S977/852 , Y10S977/864
摘要: 一种测量被测样品(40)的静电力的静电力显微镜,包括:检测器(10),其悬臂(12)在一端有一尖头形状(14),且定位成在尖头上由被测样品上的静电电荷感应出静电力;光学系统(20),用于将头头上感应的静电力造成的悬臂弯曲转换成电信号,且含有尖头上感应的静电力的频率分量;向检测器加偏压的源(92);检测器电路(30),用于检测检测器尖头感应的静电力的频率分量,中测量被测样品上的静电力;以及在操作上与悬臂相关联的静电屏蔽。
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公开(公告)号:CN1138980C
公开(公告)日:2004-02-18
申请号:CN98812846.2
申请日:1998-10-30
申请人: 特瑞克股份有限公司
IPC分类号: G01N27/60
CPC分类号: G01Q40/00 , G01Q60/30 , G01Q60/40 , Y10S977/852 , Y10S977/864
摘要: 一种静电力显微镜,其中通过获得几种不同形状检测器上的电场分布确定施加在检测器上的静电力,与此同时利用有限元方法计算检测器附近的电压分布以指导测试时表面绝对电荷量的测量,从而可以从平行平板模型确定分析与结果的差异。感兴趣的是测试介电材料厚度变化引起的电荷检测误差有多大。提供的检测器用于静电力显微镜的带有空间分辨率为10微米的合适形状的悬臂梁,它由镍箔制成,并且计算了其上的静电力。
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公开(公告)号:CN1333875A
公开(公告)日:2002-01-30
申请号:CN99815447.4
申请日:1999-11-05
申请人: 特瑞克股份有限公司
CPC分类号: G01Q60/30 , Y10S977/852 , Y10S977/864
摘要: 一种测量被测样品(40)的静电力的静电力显微镜,包括:检测器(10),其悬臂(12)在一端有一尖头形状(14),且定位成在尖头上由被测样品上的静电电荷感应出静电力;光学系统(20),用于将尖头上感应的静电力造成的悬臂弯曲转换成电信号,且含有尖头上感应的静电力的频率分量;向检测器加偏压的源(92);检测器电路(30),用于检测检测器尖头感应的静电力的频率分量,中测量被测样品上的静电力;以及在操作上与悬臂相关联的静电屏蔽。
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