一种生长室和氮化镓体材料生长方法

    公开(公告)号:CN101225547B

    公开(公告)日:2010-08-11

    申请号:CN200710176647.X

    申请日:2007-10-31

    申请人: 张剑平 高英

    IPC分类号: C30B29/38 C30B29/40 C30B25/00

    摘要: 本发明公开了一种生长室和氮化镓体材料生长方法,属于半导体工艺领域。所述生长室包括:气体加热腔、喷淋头、镓舟蒸气室、水冷生长室壁、加热装置和生长托。所述方法包括:持续向气体加热腔通入氨气和载气,把金属镓置于镓舟蒸气室内;持续向镓舟蒸气室输入氮气、氢气或氩气,使镓舟蒸气室的压力大于气体加热腔的压力;缓慢升高生长托的温度到大于或等于1050℃;缓慢升高镓舟蒸气室和气体加热腔的温度,将温度升高到大于或等于1100℃,镓蒸气与氨气在生长托上的衬底表面进行反应生成氮化镓;生长完成后,降低镓舟蒸气室和气体加热腔的温度,再降低生长托的温度,取出生成的氮化镓体材料。本发明的生长速度快,且氮化镓的质量高。

    一种半导体固态光源器件

    公开(公告)号:CN100470866C

    公开(公告)日:2009-03-18

    申请号:CN200710121874.2

    申请日:2007-09-17

    申请人: 周瓴 高英

    IPC分类号: H01L33/00

    摘要: 本发明公开了一种半导体固态光源器件,属于半导体工艺领域。所述半导体固态光源器件的外延部分包括:至少一个N-型层、至少一个P-型层、至少一个发光区、正电极和负电极,所述发光区在所述N-型层和所述P-型层之间,在所述P-型层的另一侧有至少一个P++-型层;以及在所述P++-型层的另一侧有至少一个过渡层,所述过渡层的能带宽度小于所述P-型层和P++-型层的能带宽度;在所述过渡层的另一侧有至少一个N++-型层,所述N++-型层的能带比所述过渡层的能带宽。本发明提供的大功率发光二极管半导体固态光源器件降低了电阻、提高了导热和发光效率。

    一种Ⅲ族氮化物半导体材料及其生长方法

    公开(公告)号:CN100550302C

    公开(公告)日:2009-10-14

    申请号:CN200710121875.7

    申请日:2007-09-17

    IPC分类号: H01L21/20 H01L23/00

    摘要: 本发明公开了一种III族氮化物半导体材料及其生长方法,属于半导体工艺领域。所述方法包括:在半导体衬底上形成一层耐高温掩膜;利用横向外延法在所述耐高温掩膜上生长与所述衬底同质的外延层;将所述半导体置于高温氧化炉中氧化,去除耐高温掩膜,形成与所述衬底同质的悬空图案层;以所述悬空图案层为基底,生长III族氮化物外延,形成III族氮化物半导体材料。所述III族氮化物半导体材料包括:衬底;通过外延技术形成于所述衬底上的悬空图案层;通过III族氮化物的外延技术生长于所述悬空图案层上的III族氮化物外延。本发明降低了生长成本,通过悬空图案层减小了后期生长膜和衬底之间的应力,可以生长无裂纹厚膜。

    一种生长室和氮化镓体材料生长方法

    公开(公告)号:CN101225547A

    公开(公告)日:2008-07-23

    申请号:CN200710176647.X

    申请日:2007-10-31

    申请人: 张剑平 高英

    IPC分类号: C30B29/38 C30B29/40 C30B25/00

    摘要: 本发明公开了一种生长室和氮化镓体材料生长方法,属于半导体工艺领域。所述生长室包括:气体加热腔、喷淋头、镓舟蒸气室、水冷生长室壁、加热装置和生长托。所述方法包括:持续向气体加热腔通入氨气和载气,把金属镓置于镓舟蒸气室内;持续向镓舟蒸气室输入氮气、氢气或氩气,使镓舟蒸气室的压力大于气体加热腔的压力;缓慢升高生长托的温度到大于或等于1050℃;缓慢升高镓舟蒸气室和气体加热腔的温度,将温度升高到大于或等于1100℃,镓蒸气与氨气在生长托上的衬底表面进行反应生成氮化镓;生长完成后,降低镓舟蒸气室和气体加热腔的温度,再降低生长托的温度,取出生成的氮化镓体材料。本发明的生长速度快,且氮化镓的质量高。

    一种半导体固态光源器件

    公开(公告)号:CN101140974A

    公开(公告)日:2008-03-12

    申请号:CN200710121874.2

    申请日:2007-09-17

    申请人: 周瓴 高英

    IPC分类号: H01L33/00

    摘要: 本发明公开了一种半导体固态光源器件,属于半导体工艺领域。所述半导体固态光源器件的外延部分包括:至少一个N-型层、至少一个P-型层、至少一个发光区、正电极和负电极,所述发光区在所述N-型层和所述P-型层之间,在所述P-型层的另一侧有至少一个P++-型层;以及在所述P++-型层的另一侧有至少一个过渡层,所述过渡层的能带宽度不大于所述P-型层和P++-型层的能带宽度;在所述过渡层的另一侧有至少一个N++-型层,所述N++-型层的能带比所述过渡层的能带宽。本发明提供的大功率发光二极管半导体固态光源器件降低了电阻、提高了导热和发光效率。

    一种Ⅲ族氮化物半导体材料及其生长方法

    公开(公告)号:CN101140865A

    公开(公告)日:2008-03-12

    申请号:CN200710121875.7

    申请日:2007-09-17

    申请人: 高英 周瓴

    IPC分类号: H01L21/20 H01L23/00

    摘要: 本发明公开了一种III族氮化物半导体材料及其生长方法,属于半导体工艺领域。所述方法包括:在半导体衬底上形成一层耐高温掩膜;利用横向外延法在所述耐高温掩膜上生长与所述衬底同质的外延层;将所述半导体置于高温氧化炉中氧化,去除耐高温掩膜,形成与所述衬底同质的悬空图案层;以所述悬空图案层为基底,生长III族氮化物外延,形成III族氮化物半导体材料。所述III族氮化物半导体材料包括:衬底;通过外延技术形成于所述衬底上的悬空图案层;通过III族氮化物的外延技术生长于所述悬空图案层上的III族氮化物外延。本发明降低了生长成本,通过悬空图案层减小了后期生长膜和衬底之间的应力,可以生长无裂纹厚膜。