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公开(公告)号:CN111575676B
公开(公告)日:2023-04-07
申请号:CN201910497957.4
申请日:2019-06-10
IPC分类号: C23C16/455 , C23C16/06 , H01M4/88
摘要: 本发明涉及用于表面处理粉末的表面处理设备和方法。该表面处理设备,包括:在其中限定容纳空间的腔室;设置在腔室的第一端的注入部,以便将气体注入到容纳空间中;设置在腔室的与第一端相对的第二端的排放部,以便从容纳空间排放未反应气体;以及至少一个子腔室,该至少一个子腔室装载在腔室的容纳空间中的第一端和第二端之间,其中,粉末被填充在子腔室中,并且子腔室包括设置在子腔室的至少一个表面中的网格结构,以允许气体被引入子腔室中,并且子腔室可以从第一端移动到第二端。
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公开(公告)号:CN111575676A
公开(公告)日:2020-08-25
申请号:CN201910497957.4
申请日:2019-06-10
IPC分类号: C23C16/455 , C23C16/06 , H01M4/88
摘要: 本发明涉及用于表面处理粉末的表面处理设备和方法。该表面处理设备,包括:在其中限定容纳空间的腔室;设置在腔室的第一端的注入部,以便将气体注入到容纳空间中;设置在腔室的与第一端相对的第二端的排放部,以便从容纳空间排放未反应气体;以及至少一个子腔室,该至少一个子腔室装载在腔室的容纳空间中的第一端和第二端之间,其中,粉末被填充在子腔室中,并且子腔室包括设置在子腔室的至少一个表面中的网格结构,以允许气体被引入子腔室中,并且子腔室可以从第一端移动到第二端。
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