-
公开(公告)号:CN1836156A
公开(公告)日:2006-09-20
申请号:CN200480023453.0
申请日:2004-03-31
申请人: 理学电机工业株式会社
IPC分类号: G01N23/223
CPC分类号: G01N23/223 , G01N2223/076
摘要: 本发明的课题在于提供一种荧光X射线分析装置,该荧光X射线分析装置对处于惰性气体气氛中的试样进行分析,分光室不由惰性气体置换即可,同时不与试样室连通,并且可获得足够的强度的2次X射线,另外,隔壁的寿命延长。该装置包括接纳有试样(4)的试样室(1);照射室(2),该照射室(2)接纳有对试样(4)照射1次X射线(6)的X射线源(7),该照射室(2)与上述试样室(1)连通;分光室(3),该分光室(3)接纳有对从试样(4)产生的2次X射线(8)分光而对其检测的检测机构(9);隔壁(10),该隔壁(10)按照将上述照射室(2)和分光室(3)分隔的方式设置,使上述2次X射线(8)通过;以惰性气体对上述试样室(1)和照射室(2)进行置换,并且对上述分光室(3)进行真空排气。