用于将四氯化硅转化为三氯硅烷的方法

    公开(公告)号:CN103880011B

    公开(公告)日:2016-06-29

    申请号:CN201310651564.7

    申请日:2013-12-04

    IPC分类号: C01B33/107

    CPC分类号: C01B33/1071

    摘要: 本发明涉及用于将STC转化为TCS的方法,该方法通过将包含STC和氢气的反应物气体引入到温度为1000℃-1600℃的反应器的反应区内实现,其中,反应区通过位于反应区外部的加热器加热,然后将形成的包含TCS的产物气体冷却,条件为在0.1ms-35ms内将其冷却至700℃-900℃的温度,其中反应物气体由产物气体通过以逆流工作的热交换器加热,其中反应器和热交换器形成单一气密的组件,其中该组件由选自由以下组成的组中的一种或多种陶瓷材料构成:碳化硅、氮化硅、石墨、SiC涂覆的石墨以及石英玻璃。

    用于将四氯化硅转化为三氯硅烷的方法

    公开(公告)号:CN103880011A

    公开(公告)日:2014-06-25

    申请号:CN201310651564.7

    申请日:2013-12-04

    IPC分类号: C01B33/107

    CPC分类号: C01B33/1071

    摘要: 本发明涉及用于将STC转化为TCS的方法,该方法通过将包含STC和氢气的反应物气体引入到温度为1000℃-1600℃的反应器的反应区内实现,其中,反应区通过位于反应区外部的加热器加热,然后将形成的包含TCS的产物气体冷却,条件为在0.1ms-35ms内将其冷却至700℃-900℃的温度,其中反应物气体由产物气体通过以逆流工作的热交换器加热,其中反应器和热交换器形成单一气密的组件,其中该组件由选自由以下组成的组中的一种或多种陶瓷材料构成:碳化硅、氮化硅、石墨、SiC涂覆的石墨以及石英玻璃。