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公开(公告)号：CN103172069A
公开(公告)日：2013-06-26
申请号：CN201210563223.X
申请日：2012-12-21
Applicant: 瓦克化学股份公司
Inventor： 罗伯特·鲍曼 , 罗伯特·赫尔茨尔 , 米夏埃尔·魏克塞尔加特纳
IPC: C01B33/035
CPC classification number: C01B33/02 , C01B33/035 , C01B33/10778 , H01L31/03682 , Y02E10/546
Abstract: 本发明提供了多晶硅，所述多晶硅具有以下掺杂剂浓度：1-10ppta的硼、1-20ppta的磷、1-10ppta的砷、0.01-1ppta的铝，并且具有至少2000且至多4500μs的载流子寿命。
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