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公开(公告)号：CN104614559A
公开(公告)日：2015-05-13
申请号：CN201510037971.8
申请日：2015-01-26
申请人： 电子科技大学
IPC分类号： G01R1/02
摘要： 该发明公开了一种双U型的真空系统中待测物体移动装置,涉及真空电子技术领域。该装置包括：真空腔室、样品台、样品台连动杆、波纹管、密封法兰、连动盘、大U形支架，小U形支架、多维度移动系统；其中真空腔室设置有开口，该开口外部通过密封法兰依次连接波纹管b、连动盘、波纹管a、大U形支架，波纹管a通过法兰连接大U形支架的U口底部；大U形支架的开口端固定于真空腔室上；多维度移动系统固定在大U形支架的外侧，多维度移动系统的移动轴与小U形支架的U口底部连接，小U形支架的开口端与连动盘边缘固定；样品台连动杆一端与连动盘连接，另一端与样品台连接。从而本发明具有结构简单、可靠性高、成本低的效果。
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公开(公告)号：CN104614559B
公开(公告)日：2017-09-29
申请号：CN201510037971.8
申请日：2015-01-26
申请人： 电子科技大学
IPC分类号： G01R1/02
摘要： 该发明公开了一种双U形的真空系统中待测物体移动装置,涉及真空电子技术领域。该装置包括：真空腔室、样品台、样品台连动杆、波纹管、密封法兰、连动盘、大U形支架，小U形支架、多维度移动系统；其中真空腔室设置有开口，该开口外部通过密封法兰依次连接波纹管b、连动盘、波纹管a、大U形支架，波纹管a通过法兰连接大U形支架的U口底部；大U形支架的开口端固定于真空腔室上；多维度移动系统固定在大U形支架的外侧，多维度移动系统的移动轴与小U形支架的U口底部连接，小U形支架的开口端与连动盘边缘固定；样品台连动杆一端与连动盘连接，另一端与样品台连接。从而本发明具有结构简单、可靠性高、成本低的效果。
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公开(公告)号：CN104266572B
公开(公告)日：2017-08-11
申请号：CN201410474731.X
申请日：2014-09-16
申请人： 电子科技大学
IPC分类号： G01B7/00
摘要： 该发明一种测量扫描电子显微镜电子束斑尺寸的方法，涉及电子技术领域，具体涉及一种测量扫描电镜电子束斑尺寸的测量方法。首先通过扫描电子显微镜照射放置于法拉第杯杯口上的金属刀片，得到清晰的金属刀片图像；然后截取部分刀口边缘的图像，采用图像数据处理软件获取截取图像的RGB值，得到R、G、B三个灰度矩阵；再求出这三个矩阵的平均值，得到一个平均矩阵；将平均矩阵的每一列求和，得到一个一维矩阵，按照该一维矩阵各单元的数值绘制成二维曲线，该曲线上升沿的宽度即为电子束的束斑直径，从而实现发明目的。从而具有操作简单，精度高，实用性强的效果。
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公开(公告)号：CN104266572A
公开(公告)日：2015-01-07
申请号：CN201410474731.X
申请日：2014-09-16
申请人： 电子科技大学
IPC分类号： G01B7/00
摘要： 该发明一种测量扫描电子显微镜电子束斑尺寸的方法，涉及电子技术领域，具体涉及一种测量扫描电镜电子束斑尺寸的测量方法。首先通过扫描电子显微镜照射放置于法拉第杯杯口上的金属刀片，得到清晰的金属刀片图像；然后截取部分刀口边缘的图像，采用图像数据处理软件获取截取图像的RGB值，得到R、G、B三个灰度矩阵；再求出这三个矩阵的平均值，得到一个平均矩阵；将平均矩阵的每一列求和，得到一个一维矩阵，按照该一维矩阵各单元的数值绘制成二维曲线，该曲线上升沿的宽度即为电子束的束斑直径，从而实现发明目的。从而具有操作简单，精度高，实用性强的效果。
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公开(公告)号：CN104535199B
公开(公告)日：2018-01-12
申请号：CN201510012835.3
申请日：2015-01-09
申请人： 电子科技大学
IPC分类号： G01J9/02
摘要： 该发明公开了一种相干测量太赫兹波频率的方法，属于太赫兹检测技术领域，涉及太赫兹波频率的检测与计算。该方法类似于光学相干测量频率的设计，通过相应的光学元件将一路太赫兹波转变为两路，然后通过移动设备改变其中一路的待测太赫兹波的光程，使之与另一路产生周期的干涉现象，再利用太赫兹波段的功率测量设备热释电探测器检测输出功率，热释电探测器检测的输出功率振幅随相干的变化会有相应的变化，通过该变化的信息和移动设备的移动距离计算出待测太赫兹波的频率。本发明中涉及的测量元件结构简单，光路容易搭建，操作方便，测量效率及测量精度很高。
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公开(公告)号：CN104535200B
公开(公告)日：2018-05-18
申请号：CN201510012846.1
申请日：2015-01-09
申请人： 电子科技大学
IPC分类号： G01J9/04
摘要： 该发明一种用于太赫兹频率的测量方法，属于太赫兹检测技术领域。该方法首先将待测太赫兹波入射第一分光镜，使折射波的出射方向垂直于第一分光镜；使第一分光镜的折射波垂直入射第二分光镜，再分别测量出第二分光镜的出射波与第一分光镜的折射波能量大小，实时记录；通过缓慢的平行移动第二分光镜，增大或缩小两分光镜之间的距离；将同一时刻第二分光镜出射波与第一分光镜折射波能量大小相除，得到的数值以第二分光镜的位置值为横坐标绘制成一个波形图，而相邻波峰之间第二分光镜移动的距离即为待测太赫兹波的波长，最终获得其频率。特别适用于馈入的太赫兹波噪声较强，性噪比较低的情况，可以有效减少测量误差，大大提高测量精度。
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公开(公告)号：CN104535200A
公开(公告)日：2015-04-22
申请号：CN201510012846.1
申请日：2015-01-09
申请人： 电子科技大学
IPC分类号： G01J9/04
摘要： 该发明一种用于太赫兹频率的测量方法，属于太赫兹检测技术领域。该方法首先将待测太赫兹波入射第一分光镜，使折射波的出射方向垂直于第一分光镜；使第一分光镜的折射波垂直入射第二分光镜，再分别测量出第二分光镜的出射波与第一分光镜的折射波能量大小，实时记录；通过缓慢的平行移动第二分光镜，增大或缩小两分光镜之间的距离；将同一时刻第二分光镜出射波与第一分光镜折射波能量大小相除，得到的数值以第二分光镜的位置值为横坐标绘制成一个波形图，而相邻波峰之间第二分光镜移动的距离即为待测太赫兹波的波长，最终获得其频率。特别适用于馈入的太赫兹波噪声较强，性噪比较低的情况，可以有效减少测量误差，大大提高测量精度。
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公开(公告)号：CN104535199A
公开(公告)日：2015-04-22
申请号：CN201510012835.3
申请日：2015-01-09
申请人： 电子科技大学
IPC分类号： G01J9/02
摘要： 该发明公开了一种相干测量太赫兹波频率的方法，属于太赫兹检测技术领域，涉及太赫兹波频率的检测与计算。该方法类似于光学相干测量频率的设计，通过相应的光学元件将一路太赫兹波转变为两路，然后通过移动设备改变其中一路的待测太赫兹波的光程，使之与另一路产生周期的干涉现象，再利用太赫兹波段的功率测量设备热释电探测器检测输出功率，热释电探测器检测的输出功率振幅随相干的变化会有相应的变化，通过该变化的信息和移动设备的移动距离计算出待测太赫兹波的频率。本发明中涉及的测量元件结构简单，光路容易搭建，操作方便，测量效率及测量精度很高。
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公开(公告)号：CN204086373U
公开(公告)日：2015-01-07
申请号：CN201420531881.5
申请日：2014-09-16
申请人： 电子科技大学
IPC分类号： G01R19/00
摘要： 该发明一种用于测量扫描电子显微镜电子束电流的装置，涉及电子技术领域，具体涉及一种测量扫描电镜电子束电流的测量装置。该装置包括：一个带有栅网的法拉第杯、贯穿有两个电极的扫描电子显微镜的样品室隔板、高灵敏度的电流表，各部分之间采用镀有陶瓷的导线连接；首先连接好电路后，将样品室隔板安装于样品室上，保证样品室密闭性；扫描电子显微镜发射的电子束入射到法拉第杯内，法拉第杯吸收电子，电流通过镀有陶瓷的导线经过样品室隔板的电极流到高敏度的电流表，通过电流表测出电流的大小，从而实现发明目的。具有作简单、方便，能够用于精确测量扫描电子显微镜电子束电流的效果。
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