公开(公告)号：CN117792332A

公开(公告)日：2024-03-29

申请号：CN202410199925.7

申请日：2024-02-23

申请人： 电子科技大学

发明人： 陈聪 ,  鲁钰文 ,  向海 ,  白利兵 ,  田露露 ,  张杰 ,  周权 ,  程玉华 ,  王家豪

IPC分类号： H03H9/17 ,  H03H9/13 ,  H03H9/02

摘要： 本发明公开了一种基于大应力加载结构的电调谐薄膜体声波谐振器，属于可调谐谐振器技术领域，由谐振结构和多个对称设置于谐振结构周围的应力加载结构构成；谐振结构由第一压电薄膜层和两个分别设置于第一压电薄膜层上下表面的激励电极层构成；应力加载结构由第二压电薄膜层和两个分别设置于第二压电薄膜层上下表面的调制电极层构成；第一压电薄膜层与第二压电薄膜层为一个整体，具有弹性软硬化效应；激励电极层与相邻调制电极层之间不相连；通过对两个调制电极层施加直流偏置信号，对两个激励电极层施加交流射频信号，实现直流偏置信号与交流射频信号的相互分离，以及谐振频率调节，更适合于集成电路中器件的谐振频率偏差较大的应用场景。

公开(公告)号：CN117792332B

公开(公告)日：2024-05-03

申请号：CN202410199925.7

申请日：2024-02-23

申请人： 电子科技大学

发明人： 陈聪 ,  鲁钰文 ,  向海 ,  白利兵 ,  田露露 ,  张杰 ,  周权 ,  程玉华 ,  王家豪

IPC分类号： H03H9/17 ,  H03H9/13 ,  H03H9/02

摘要： 本发明公开了一种基于大应力加载结构的电调谐薄膜体声波谐振器，属于可调谐谐振器技术领域，由谐振结构和多个对称设置于谐振结构周围的应力加载结构构成；谐振结构由第一压电薄膜层和两个分别设置于第一压电薄膜层上下表面的激励电极层构成；应力加载结构由第二压电薄膜层和两个分别设置于第二压电薄膜层上下表面的调制电极层构成；第一压电薄膜层与第二压电薄膜层为一个整体，具有弹性软硬化效应；激励电极层与相邻调制电极层之间不相连；通过对两个调制电极层施加直流偏置信号，对两个激励电极层施加交流射频信号，实现直流偏置信号与交流射频信号的相互分离，以及谐振频率调节，更适合于集成电路中器件的谐振频率偏差较大的应用场景。

公开(公告)号：CN118914353A

公开(公告)日：2024-11-08

申请号：CN202411325466.9

申请日：2024-09-23

申请人： 电子科技大学

发明人： 陈聪 ,  向海 ,  马建博 ,  李怡帆 ,  白利兵 ,  黄伟 ,  程玉华

IPC分类号： G01N29/036

摘要： 本发明公开了一种AT切型石英谐振式氢气传感器，属于氢气传感器技术领域，包括依次叠置的第一钯材料多功能层、AT切型石英压电层和第二钯材料多功能层；第一钯材料多功能层与第二钯材料多功能层关于AT切型石英压电层对称设置；AT切型石英谐振式氢气传感器置于待测氢气环境中，向第一钯材料多功能层和第二钯材料多功能层施加激励信号，使AT切型石英谐振式氢气传感器发生谐振，通过检测谐振频率，实现待测氢气环境的氢气浓度检测。本发明利用钯金属薄膜对氢气的吸附作用使钯的杨氏模量发生变化，以改变谐振器的谐振频率，进而实现氢气浓度检测，具有结构简单、器件体积小、响应速度快、检测灵敏度高的优点，并且器件制备工艺简单成熟，成本较低，适用于大批量生产。