一种片式电子元器件内电极的制备方法

    公开(公告)号:CN103395307B

    公开(公告)日:2015-09-09

    申请号:CN201310322790.0

    申请日:2013-07-29

    IPC分类号: B41M1/12 G03F7/00

    摘要: 一种片式电子元器件内部电极的制备方法,主要包括:在暗室中,用负性感光导电金属浆料印刷初步内电极图形,然后在掩膜板作用下,将印刷的初步内电极图形按目标内电极图形要求要求曝光固化,再经过与负性感光导电金属浆料匹配的显影液显影,用溶剂清除精细电极图形之外的电极轮廓,保留已经固化的目标内电极图形,经干燥后完成内电极制备。本发明在采用传统丝网印刷工艺制作元器件内电极的基础上,利用负性感光导电金属浆料对特定波长光的敏感性,再通过曝光显影的方式,将目标内电极图形精细地刻画出来,以达到小尺寸电子元器件内部电极图形设计的要求,够制备出线宽精度更高的内电极,适用于英制0201、01005或更小尺寸元件内电极的制备。

    一种应用于共烧陶瓷技术的超薄生瓷带的制作方法

    公开(公告)号:CN106142292A

    公开(公告)日:2016-11-23

    申请号:CN201610494471.1

    申请日:2016-06-29

    IPC分类号: B28B1/30 B28B11/00

    CPC分类号: B28B1/30 B28B11/00

    摘要: 本发明公开了一种应用于共烧陶瓷技术的超薄生瓷带的制作方法,属于电子材料与工艺技术领域。本发明采用光刻的图形转移原理,首先在感光胶中均匀分散陶瓷粉料,加入有机溶剂制得感光陶瓷复合溶液;然后通过旋涂工艺使得感光陶瓷复合溶液涂敷在固定的基板上形成均匀、无缺陷的薄膜;在制得的薄膜上覆盖特定掩膜板,经过曝光、显影处理形成目标图形,最后烘干、固化制得生瓷片。本发明制备出的生瓷带厚度小于10μm,解决了传统流延工艺制备的生瓷带膜厚极限的问题,可以实现在相同的器件尺寸下增加布线层数的要求;同时,本发明结合光刻胶材料的图形转移原理,解决了陶瓷生瓷带图形加工工艺问题,可提高组装密度、生产效率和可靠性。

    一种片式电子元器件内电极的制备方法

    公开(公告)号:CN103395307A

    公开(公告)日:2013-11-20

    申请号:CN201310322790.0

    申请日:2013-07-29

    IPC分类号: B41M1/12 G03F7/00

    摘要: 一种片式电子元器件内部电极的制备方法,主要包括:在暗室中,用负性感光导电金属浆料印刷初步内电极图形,然后在掩膜板作用下,将印刷的初步内电极图形按目标内电极图形要求要求曝光固化,再经过与负性感光导电金属浆料匹配的显影液显影,用溶剂清除精细电极图形之外的电极轮廓,保留已经固化的目标内电极图形,经干燥后完成内电极制备。本发明在采用传统丝网印刷工艺制作元器件内电极的基础上,利用负性感光导电金属浆料对特定波长光的敏感性,再通过曝光显影的方式,将目标内电极图形精细地刻画出来,以达到小尺寸电子元器件内部电极图形设计的要求,够制备出线宽精度更高的内电极,适用于英制0201、01005或更小尺寸元件内电极的制备。