一种基于MEMS的多通道热式流量计及信号采集装置

    公开(公告)号:CN117146915A

    公开(公告)日:2023-12-01

    申请号:CN202310954084.1

    申请日:2023-07-31

    摘要: 本申请涉及硅微机械系统传感器技术领域,具体涉及一种基于MEMS的多通道热式流量计及信号采集装置。主旨在于解决现有的传感器在测量多种气体以及不同量程的气体的步骤繁琐以及成本昂贵问题。主要方案包括进口(1)、出口(3),进口跟出口通过支通道连通,在各个支通道之中安装有热流量传感器(9)。流量传感器(9)包括硅基底(8),设置在硅基底(8)上的SiO2隔热层(7),在SiO2隔热层(7)上的左右两端分别设置上流热电堆层(4)和下流热电堆层(6),在上流热电堆层(4)和下流热电堆层(6)之间设置有加热电阻(5)。

    一种基于咀嚼机器人的多传感器数据融合算法

    公开(公告)号:CN117290807A

    公开(公告)日:2023-12-26

    申请号:CN202311340546.7

    申请日:2023-10-17

    IPC分类号: G06F18/25 B25J9/16

    摘要: 本发明涉及属于信息技术领域,提供了一种基于咀嚼机器人的多传感器数据融合算法。主旨在于提供了多传感器数据融合算法,融合系统通过采集到的目标特征信息进行数据融合得到最终的目标决策。主要方案包括对三种传感器进行基本概率分配得到初始概率矩阵;求每个命题的贴近度矩阵得到真实程度矩阵;对初始概率矩阵求每列的均值求得均值矩阵和差值矩阵;将真实程度矩阵和差值矩阵加权为贴近度差值矩阵;通过初始概率矩阵和差值矩阵可得到可信矩阵和不可信矩阵;将可信矩阵与不可信矩阵相加可得到新的概率矩阵;将新的概率矩阵的每列相加,求得每个相同目标数据占整体的百分比;每个相同目标数据占整体的百分比与新的概率矩阵对应相乘得到最终的矩阵。

    一种集成位置监测系统的旋转式MEMS加密微安保芯片

    公开(公告)号:CN116910782A

    公开(公告)日:2023-10-20

    申请号:CN202310857942.0

    申请日:2023-07-13

    摘要: 本发明涉及安保芯片领域,提供了一种集成位置监测系统的旋转式MEMS加密微安保芯片。主旨在于实现对长期服役的芯片对微摩擦引起的衰退进行监测与自适应补偿,缓解因摩擦对器件的性能产生负面影响的问题。主要方案包括盖板层和安保装置层,盖板层的圆形观察窗与安保装置层的中断圆盘位于芯片的中央。传感器模块由中断圆盘组成的安保隔断作为容栅式位移传感器的动栅,一对静栅呈180°中心对称与安保装置层的电热执行器分布在中断圆盘四周;驱动单元和离合单元所构成的执行器模块与传感器模块形成了闭环控制,根据传感器监测到信号输出,实现微小驱动位移的在线健康状态感知,并据此反馈到执行器模块,对驱动信号进行补偿。