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发明公开
一种集成位置监测系统的旋转式MEMS加密微安保芯片审中-公开

公开(公告)号：CN116910782A

公开(公告)日：2023-10-20

申请号：CN202310857942.0

申请日：2023-07-13

申请人： 电子科技大学长三角研究院(湖州)

发明人： 房旷 , 杨鹏 , 徐尚龙 , 戴亚龙

IPC分类号： G06F21/60 , B81B7/02 , G06F21/76 , G06F21/87

摘要： 本发明涉及安保芯片领域，提供了一种集成位置监测系统的旋转式MEMS加密微安保芯片。主旨在于实现对长期服役的芯片对微摩擦引起的衰退进行监测与自适应补偿，缓解因摩擦对器件的性能产生负面影响的问题。主要方案包括盖板层和安保装置层,盖板层的圆形观察窗与安保装置层的中断圆盘位于芯片的中央。传感器模块由中断圆盘组成的安保隔断作为容栅式位移传感器的动栅，一对静栅呈180°中心对称与安保装置层的电热执行器分布在中断圆盘四周；驱动单元和离合单元所构成的执行器模块与传感器模块形成了闭环控制，根据传感器监测到信号输出，实现微小驱动位移的在线健康状态感知，并据此反馈到执行器模块，对驱动信号进行补偿。