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公开(公告)号：CN110325293A
公开(公告)日：2019-10-11
申请号：CN201780087039.3
申请日：2017-12-21
申请人： 皇家飞利浦有限公司
发明人： S·舒列波夫 , P·迪克森 , H-P·勒布尔 , F·P·M·布德泽拉 , P·H·M·蒂默曼斯 , N·M·A·德维尔德
IPC分类号： B06B1/02
摘要： 公开了用于电容式射频微机电开关(例如用于在超声系统中使用的CMUT单元)的系统和操作方法。RFMEMS可以包括：基板、被连接到所述基板的第一电极、膜，以及被连接到所述膜的第二电极。在一些示例中，在所述第一电极与所述第二电极之间存在介电叠层。介电叠层设计使膜塌陷电压的漂移最小化。在其他示例中，被耦合到压缩CMUT单元的超声阵列的电压源适于向CMUT单元的电极提供电压分布的序列，其中，每个分布包括偏置电压和刺激电压，并且其中，序列中的每个后续电压分布的极性与前一分布的极性相反。在另一示例中，提供了一种被布置为确定CMUT单元的漂移电压的电容感测电路。
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公开(公告)号：CN110325293B
公开(公告)日：2021-06-22
申请号：CN201780087039.3
申请日：2017-12-21
申请人： 皇家飞利浦有限公司
发明人： S·舒列波夫 , P·迪克森 , H-P·勒布尔 , F·P·M·布德泽拉 , P·H·M·蒂默曼斯 , N·M·A·德维尔德
IPC分类号： B06B1/02
摘要： 公开了用于电容式射频微机电开关(例如用于在超声系统中使用的CMUT单元)的系统和操作方法。RFMEMS可以包括：基板、被连接到所述基板的第一电极、膜，以及被连接到所述膜的第二电极。在一些示例中，在所述第一电极与所述第二电极之间存在介电叠层。介电叠层设计使膜塌陷电压的漂移最小化。在其他示例中，被耦合到压缩CMUT单元的超声阵列的电压源适于向CMUT单元的电极提供电压分布的序列，其中，每个分布包括偏置电压和刺激电压，并且其中，序列中的每个后续电压分布的极性与前一分布的极性相反。在另一示例中，提供了一种被布置为确定CMUT单元的漂移电压的电容感测电路。
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公开(公告)号：CN112384147A
公开(公告)日：2021-02-19
申请号：CN201980044690.1
申请日：2019-06-28
申请人： 皇家飞利浦有限公司
发明人： F·J·G·哈肯斯 , L·J·A·M·贝克尔斯 , J·W·威坎普 , P·迪克森 , P·H·M·蒂默曼斯 , S·Y·舒列波夫 , H-P·勒布尔
摘要： 一种管腔内超声成像设备，包括被配置为定位于患者的身体管腔内的柔性细长构件。超声成像组件被设置在柔性细长构件的远端部分处。超声成像组件包括多个声学元件以及被设置在多个声学元件之上的声学透明窗口。声学透明窗口包括形成在彼此之上的多个层。多个层包括直接接触多个声学元件的最内层、与最内层相对的最外层，以及粘合层。最外层包括管道。最内层的硬度小于多个层中的每个其它层的硬度。最外层的硬度大于多个层中的每个其它层的硬度。
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公开(公告)号：CN108348217A
公开(公告)日：2018-07-31
申请号：CN201680063958.2
申请日：2016-11-02
申请人： 皇家飞利浦有限公司
CPC分类号： A61B8/4494 , A61B8/4483 , B06B1/0215 , B06B1/0292 , B06B2201/40 , B06B2201/51 , B06B2201/76
摘要： 本发明提供一种超声换能器阵列，包括多个CMUT(电容式微加工超声换能器)单元(100)，每一CMUT单元包括承载第一电极布置结构的第一电极(110)的衬底(300)，该衬底与包括第二电极布置结构的第二电极(120)的柔性膜片在空间上间隔开一间隙(130)，所述第一电极和所述第二电极中的至少一个通过至少一个电介质层(311、313)与所述间隙电绝缘，其中所述第一电极布置结构和所述第二电极布置结构中的至少一个被分割成通过各自的熔丝部分(112、122)互连的多个区段。本发明还公开包括此类超声换能器阵列的一种超声探头和一种超声系统。
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公开(公告)号：CN110100294B
公开(公告)日：2022-03-29
申请号：CN201780079840.3
申请日：2017-12-21
申请人： 皇家飞利浦有限公司
摘要： 公开了一种用于电容式射频微机电开关的系统和操作方法，所述电容式射频微机电开关是诸如用于超声系统中的CMUT单元。RFMEMS可以包括基板、连接到所述基板的第一电极、膜和连接到所述膜的第二电极。在一些范例中，在第一电极与第二电极和柔性膜之间存在电介质堆叠。电介质堆叠设计使膜塌陷电压中的漂移最小化。在其他范例中，电极之一是环形形式的，并且第三电极被提供为占据环的中心的空间。备选地，第一和第二电极两者都是环形形式的并且在环内部在电极之间存在支撑件。
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公开(公告)号：CN108348217B
公开(公告)日：2021-07-20
申请号：CN201680063958.2
申请日：2016-11-02
申请人： 皇家飞利浦有限公司
摘要： 本发明提供一种超声换能器阵列，包括多个CMUT(电容式微加工超声换能器)单元(100)，每一CMUT单元包括承载第一电极布置结构的第一电极(110)的衬底(300)，该衬底与包括第二电极布置结构的第二电极(120)的柔性膜片在空间上间隔开一间隙(130)，所述第一电极和所述第二电极中的至少一个通过至少一个电介质层(311、313)与所述间隙电绝缘，其中所述第一电极布置结构和所述第二电极布置结构中的至少一个被分割成通过各自的熔丝部分(112、122)互连的多个区段。本发明还公开包括此类超声换能器阵列的一种超声探头和一种超声系统。
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公开(公告)号：CN110100294A
公开(公告)日：2019-08-06
申请号：CN201780079840.3
申请日：2017-12-21
申请人： 皇家飞利浦有限公司
摘要： 公开了一种用于电容式射频微机电开关的系统和操作方法，所述电容式射频微机电开关是诸如用于超声系统中的CMUT单元。RFMEMS可以包括基板、连接到所述基板的第一电极、膜和连接到所述膜的第二电极。在一些范例中，在第一电极与第二电极和柔性膜之间存在电介质堆叠。电介质堆叠设计使膜塌陷电压中的漂移最小化。在其他范例中，电极之一是环形形式的，并且第三电极被提供为占据环的中心的空间。备选地，第一和第二电极两者都是环形形式的并且在环内部在电极之间存在支撑件。
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