掩模检查装置和方法
    1.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1918513B

    公开(公告)日:2011-02-02

    申请号:CN200580004179.7

    申请日:2005-02-02

    IPC分类号: G03F1/00

    CPC分类号: G03F1/84 G03F1/44

    摘要: 本发明涉及物体的光学检查装置,包括:用于产生真实物体的实际图像的光学成像系统(5)、就光学成像系统的已知像差系数而言用于计算所需形状的物体估算图像的计算单元(12)、用于检测实际图像与计算单元(12)计算出的图像之间的差异的图像分析单元(13)。

    掩模检查装置和方法
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1918513A

    公开(公告)日:2007-02-21

    申请号:CN200580004179.7

    申请日:2005-02-02

    IPC分类号: G03F1/00

    CPC分类号: G03F1/84 G03F1/44

    摘要: 本发明涉及物体的光学检查装置,包括:用于产生真实物体的实际图像的光学成像系统(5)、就光学成像系统的已知象差系数而言用于计算所需形状的物体估算图像的计算单元(12)、用于检测实际图像与计算单元(12)计算出的图像之间的差异的图像分析单元(13)。