公开(公告)号：CN115552537A

公开(公告)日：2022-12-30

申请号：CN202280004137.7

申请日：2022-04-13

Applicant: 真实仪器公司

Inventor： C·D·皮兰特 ,  T·C·米夏尔斯 ,  J·D·柯雷斯

IPC: G16C20/00

Abstract: 本公开通过识别表示光学数据的电数据中的异常信号来提供对所述光学数据的改进处理。所述改进处理还可包含修改所述经识别异常信号数据以提供对所述光学数据的更真实表示。所述经公开处理可被各种系统及设备用于处理对应于所述光学数据的光谱数据。所述改进处理可用来改进对半导体工艺的监测且因此改进总体半导体工艺。在一个实例中，一种处理光谱数据的方法包含：(1)接收时间上分离的光谱数据样本；以及(2)基于所述时间上分离的光谱数据样本中的至少一个前导者及至少一个后续者来识别所述光谱数据样本中的中间者中的一或多个异常信号。

公开(公告)号：CN115552537B

公开(公告)日：2024-03-19

申请号：CN202280004137.7

申请日：2022-04-13

Applicant: 真实仪器公司

Inventor： C·D·皮兰特 ,  T·C·米夏尔斯 ,  J·D·柯雷斯

IPC: G16C20/00

Abstract: 本公开通过识别表示光学数据的电数据中的异常信号来提供对所述光学数据的改进处理。所述改进处理还可包含修改所述经识别异常信号数据以提供对所述光学数据的更真实表示。所述经公开处理可被各种系统及设备用于处理对应于所述光学数据的光谱数据。所述改进处理可用来改进对半导体工艺的监测且因此改进总体半导体工艺。在一个实例中，一种处理光谱数据的方法包含：(1)接收时间上分离的光谱数据样本；以及(2)基于所述时间上分离的光谱数据样本中的至少一个前导者及至少一个后续者来识别所述光谱数据样本中的中间者中的一或多个异常信号。