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公开(公告)号：CN111599705B
公开(公告)日：2024-01-26
申请号：CN202010102501.6
申请日：2020-02-19
Applicant: 真实仪器公司
Abstract: 本申请涉及一种对信号从晶片反射后的角驱动变化灵敏度降低的光纤耦合测量系统。公开一种具有OAP镜准直仪的光学系统，其具有外壳、位于所述外壳内且具有光轴、折叠平面和焦点的OAP镜。光纤线缆耦合到所述外壳且具有第一和第二光纤，所述第一和第二光纤各自具有形成所述光纤线缆的共同端面的出口端，其中所述光纤线缆以旋转方式和平移方式与所述OAP镜对准，使得共同面垂直于所述OAP镜的所述光轴且以所述光轴为中心，且与所述焦点相距固定距离，且其中所述第一和第二光纤的光轴共同成角度地与所述折叠平面对准，且所述第一和第二光纤的所述光轴偏离与所述光轴的平行不超过0.15度。
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公开(公告)号：CN111599705A
公开(公告)日：2020-08-28
申请号：CN202010102501.6
申请日：2020-02-19
Applicant: 真实仪器公司
Abstract: 本申请涉及一种对信号从晶片反射后的角驱动变化灵敏度降低的光纤耦合测量系统。公开一种具有OAP镜准直仪的光学系统，其具有外壳、位于所述外壳内且具有光轴、折叠平面和焦点的OAP镜。光纤线缆耦合到所述外壳且具有第一和第二光纤，所述第一和第二光纤各自具有形成所述光纤线缆的共同端面的出口端，其中所述光纤线缆以旋转方式和平移方式与所述OAP镜对准，使得共同面垂直于所述OAP镜的所述光轴且以所述光轴为中心，且与所述焦点相距固定距离，且其中所述第一和第二光纤的光轴共同成角度地与所述折叠平面对准，且所述第一和第二光纤的所述光轴偏离与所述光轴的平行不超过0.15度。
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公开(公告)号：CN115552537A
公开(公告)日：2022-12-30
申请号：CN202280004137.7
申请日：2022-04-13
Applicant: 真实仪器公司
IPC: G16C20/00
Abstract: 本公开通过识别表示光学数据的电数据中的异常信号来提供对所述光学数据的改进处理。所述改进处理还可包含修改所述经识别异常信号数据以提供对所述光学数据的更真实表示。所述经公开处理可被各种系统及设备用于处理对应于所述光学数据的光谱数据。所述改进处理可用来改进对半导体工艺的监测且因此改进总体半导体工艺。在一个实例中，一种处理光谱数据的方法包含：(1)接收时间上分离的光谱数据样本；以及(2)基于所述时间上分离的光谱数据样本中的至少一个前导者及至少一个后续者来识别所述光谱数据样本中的中间者中的一或多个异常信号。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108881746A
公开(公告)日：2018-11-23
申请号：CN201810298098.1
申请日：2018-03-30
Applicant: 真实仪器公司
IPC: H04N5/347 , H04N5/355 , H04N5/3728
CPC classification number: H01J49/022 , G01B11/06 , G01N21/00 , H01J49/025 , H01L21/67242 , H01L27/148 , H04N5/347 , H04N5/355 , H04N5/357 , H04N5/372 , H04N5/378
Abstract: 本发明提供多模式可配置光谱仪、操作多模式可配置光谱仪的方法及光学监测系统。在一个实施例中，所述多模式可配置光谱仪包含：(1)光学传感器，其经配置以接收光学输入且将所述光学输入转换成电信号，其中所述光学传感器包含用于将所述光学输入转换成所述电信号的多个有源像素区域；及(2)转换电路，其具有多个可选择转换电路，所述转换电路经配置以接收所述电信号且根据所述可选择转换电路中的所选择者将所述电信号转换成数字输出。
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公开(公告)号：CN115552537B
公开(公告)日：2024-03-19
申请号：CN202280004137.7
申请日：2022-04-13
Applicant: 真实仪器公司
IPC: G16C20/00
Abstract: 本公开通过识别表示光学数据的电数据中的异常信号来提供对所述光学数据的改进处理。所述改进处理还可包含修改所述经识别异常信号数据以提供对所述光学数据的更真实表示。所述经公开处理可被各种系统及设备用于处理对应于所述光学数据的光谱数据。所述改进处理可用来改进对半导体工艺的监测且因此改进总体半导体工艺。在一个实例中，一种处理光谱数据的方法包含：(1)接收时间上分离的光谱数据样本；以及(2)基于所述时间上分离的光谱数据样本中的至少一个前导者及至少一个后续者来识别所述光谱数据样本中的中间者中的一或多个异常信号。
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公开(公告)号：CN108881746B
公开(公告)日：2021-05-21
申请号：CN201810298098.1
申请日：2018-03-30
Applicant: 真实仪器公司
IPC: H04N5/347 , H04N5/355 , H04N5/3728
Abstract: 本发明提供多模式可配置光谱仪、操作多模式可配置光谱仪的方法及光学监测系统。在一个实施例中，所述多模式可配置光谱仪包含：(1)光学传感器，其经配置以接收光学输入且将所述光学输入转换成电信号，其中所述光学传感器包含用于将所述光学输入转换成所述电信号的多个有源像素区域；及(2)转换电路，其具有多个可选择转换电路，所述转换电路经配置以接收所述电信号且根据所述可选择转换电路中的所选择者将所述电信号转换成数字输出。
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公开(公告)号：CN113218935B
公开(公告)日：2025-02-25
申请号：CN202110490515.4
申请日：2018-03-30
Applicant: 真实仪器公司
Abstract: 本发明提供多模式可配置光谱仪、操作多模式可配置光谱仪的方法及光学监测系统。在一个实施例中，所述多模式可配置光谱仪包含：(1)光学传感器，其经配置以接收光学输入且将所述光学输入转换成电信号，其中所述光学传感器包含用于将所述光学输入转换成所述电信号的多个有源像素区域；及(2)转换电路，其具有多个可选择转换电路，所述转换电路经配置以接收所述电信号且根据所述可选择转换电路中的所选择者将所述电信号转换成数字输出。
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公开(公告)号：CN113218935A
公开(公告)日：2021-08-06
申请号：CN202110490515.4
申请日：2018-03-30
Applicant: 真实仪器公司
Abstract: 本发明提供多模式可配置光谱仪、操作多模式可配置光谱仪的方法及光学监测系统。在一个实施例中，所述多模式可配置光谱仪包含：(1)光学传感器，其经配置以接收光学输入且将所述光学输入转换成电信号，其中所述光学传感器包含用于将所述光学输入转换成所述电信号的多个有源像素区域；及(2)转换电路，其具有多个可选择转换电路，所述转换电路经配置以接收所述电信号且根据所述可选择转换电路中的所选择者将所述电信号转换成数字输出。
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