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公开(公告)号：CN117053921A
公开(公告)日：2023-11-14
申请号：CN202310544693.X
申请日：2023-05-15
Applicant: 真实仪器公司
IPC: G01J3/02 , H01L27/148 , G01J3/28
Abstract: 本公开涉及一种用于改进光学装置的背景校正和校准的系统、设备和方法。本公开提供用于通过标识和表征表示从光学测量系统的光学传感器收集的数据的电数据中的平稳和瞬变信号来改进对光学数据的处理的特征。在一个实例中，公开一种光学测量系统，其包含：(1)具有存储对应于所接收光学信号的电荷的多个像素的光学传感器的像素区域，(2)提供所述光学传感器固有的信号电平的一或多个减少照明区；以及(3)经配置以在所述系统的活动操作期间使用来自所述一或多个减少照明区的所述信号电平的表征调整来自所述像素区域的所述像素的所述电荷的数字表示的一或多个处理器。
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