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公开(公告)号：CN102203898A
公开(公告)日：2011-09-28
申请号：CN200980136544.8
申请日：2009-07-16
Applicant: 真实仪器公司 , 德克萨斯大学达拉斯分校
Inventor： 吉米·W·霍斯克 , 马苏·J·郭克勒 , 麦克·威伦 , 安德鲁·威克斯·库尼 , 肯尼斯·C·赫文 , P.L.·司德文·瑟班
Abstract: 本发明涉及气体线路电子流激励器。所述电子束激励器通常包括用于在电子源腔中生成电子云的可变密度电子源，和用于将来自电子源腔的电子作为电子束加速成用于发射荧光的气体样本的可变能量电子激励器。电子束的电子能量是可通过调节越过可变能量电子抽取器可变控制的。所述变能量电子抽取器通过腔上的孔朝着该抽取器给电子供能。施加到电子源上的激励功率可独立于电子束的电子能量调节从而改变电子的电子密度而不改变电子束的电子的能级。
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公开(公告)号：CN102203898B
公开(公告)日：2016-11-16
申请号：CN200980136544.8
申请日：2009-07-16
Applicant: 真实仪器公司 , 德克萨斯大学达拉斯分校
Inventor： 吉米·W·霍斯克 , 马苏·J·郭克勒 , 麦克·威伦 , 安德鲁·威克斯·库尼 , 肯尼斯·C·赫文 , P.L.·司德文·瑟班
Abstract: 本发明涉及气体线路电子流激励器。所述电子束激励器通常包括用于在电子源腔中生成电子云的可变密度电子源，和用于将来自电子源腔的电子作为电子束加速成用于发射荧光的气体样本的可变能量电子激励器。电子束的电子能量是可通过调节越过可变能量电子抽取器可变控制的。所述变能量电子抽取器通过腔上的孔朝着该抽取器给电子供能。施加到电子源上的激励功率可独立于电子束的电子能量调节从而改变电子的电子密度而不改变电子束的电子的能级。
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公开(公告)号：CN101689222A
公开(公告)日：2010-03-31
申请号：CN200880015308.6
申请日：2008-05-06
Applicant: 真实仪器公司
Inventor： 麦克·威伦 , 安德鲁·威克斯·昆尼 , 凯尼斯·C·哈飞 , 约翰·道格拉斯·柯莱斯
IPC: G06F19/00
CPC classification number: G01J3/443 , G01J3/28 , G01J2003/2866
Abstract: 本发明涉及一种在故障检验和过程监测中使用的光谱设备辐射校准系统和方法。首先，将参考摄谱仪校准到本地基本标准(具有已知光谱强度和可追溯到参考标准的经校准的光源)。然后根据参考摄谱仪而非本地基本校准标准来校准其它摄谱仪。这通过用参考摄谱仪和待校准的摄谱仪两者观察光源来完成。来自待校准的摄谱仪的输出与参考摄谱仪的输出相比较，然后进行调整以与该输出一致。当前的校准过程能分两个阶段完成，第一阶段将摄谱仪校准到参考摄谱仪，然后在等离子腔室微调到窄带光源。作为替代，参考摄谱仪能校准到本地基本标准而光学耦合到等离子腔室。在此，本地基本标准校准光源临时定位在等离子腔室内、或者在沿着腔室内部布置的光腔室中，用于校准参考摄谱仪。当耦合到具有本地基本标准校准光源的等离子腔室时，其它摄谱仪能校准到参考摄谱仪，从而将整个光学路径中的每个组件校准到参考光源。
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公开(公告)号：CN101689222B
公开(公告)日：2012-12-26
申请号：CN200880015308.6
申请日：2008-05-06
Applicant: 真实仪器公司
Inventor： 麦克·威伦 , 安德鲁·威克斯·昆尼 , 凯尼斯·C·哈飞 , 约翰·道格拉斯·柯莱斯
CPC classification number: G01J3/443 , G01J3/28 , G01J2003/2866
Abstract: 本发明涉及一种在故障检验和过程监测中使用的光谱设备辐射校准系统和方法。首先，将参考摄谱仪校准到本地基本标准(具有已知光谱强度和可追溯到参考标准的经校准的光源)。然后根据参考摄谱仪而非本地基本校准标准来校准其它摄谱仪。这通过用参考摄谱仪和待校准的摄谱仪两者观察光源来完成。来自待校准的摄谱仪的输出与参考摄谱仪的输出相比较，然后进行调整以与该输出一致。当前的校准过程能分两个阶段完成，第一阶段将摄谱仪校准到参考摄谱仪，然后在等离子腔室微调到窄带光源。作为替代，参考摄谱仪能校准到本地基本标准而光学耦合到等离子腔室。在此，本地基本标准校准光源临时定位在等离子腔室内、或者在沿着腔室内部布置的光腔室中，用于校准参考摄谱仪。当耦合到具有本地基本标准校准光源的等离子腔室时，其它摄谱仪能校准到参考摄谱仪，从而将整个光学路径中的每个组件校准到参考光源。
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