一种多晶硅副产低聚氯硅烷中六氯二硅烷的分离方法

    公开(公告)号:CN116102018A

    公开(公告)日:2023-05-12

    申请号:CN202211413444.9

    申请日:2022-11-11

    申请人: 石河子大学

    IPC分类号: C01B33/107

    摘要: 本发明提供一种多晶硅副产低聚氯硅烷中六氯二硅烷的分离方法,包括以下步骤:(1)将多晶硅副产低聚氯硅烷进行裂解反应,所述裂解反应是通入HCl气体与多晶硅副产低聚氯硅烷进行反应,反应温度为90℃‑120℃,将产生的气体冷凝,并收集裂解反应的剩余液体;所述多晶硅副产低聚氯硅烷包括六氯乙硅烷、六氯乙硅氧烷、五氯乙硅烷、四氯硅烷和三氯氢硅;(2)将裂解反应的剩余液体进行低温结晶,过滤分离出晶体。本发明所提供的裂解反应与结晶分离结合的方法,对设备要求低,制备过程简单,耗能低,对多晶硅二聚体中分离Si2Cl6效果促进明显。

    一种多晶硅副产低聚氯硅烷中六氯二硅烷的分离方法

    公开(公告)号:CN116102018B

    公开(公告)日:2024-06-04

    申请号:CN202211413444.9

    申请日:2022-11-11

    申请人: 石河子大学

    IPC分类号: C01B33/107

    摘要: 本发明提供一种多晶硅副产低聚氯硅烷中六氯二硅烷的分离方法,包括以下步骤:(1)将多晶硅副产低聚氯硅烷进行裂解反应,所述裂解反应是通入HCl气体与多晶硅副产低聚氯硅烷进行反应,反应温度为90℃‑120℃,将产生的气体冷凝,并收集裂解反应的剩余液体;所述多晶硅副产低聚氯硅烷包括六氯乙硅烷、六氯乙硅氧烷、五氯乙硅烷、四氯硅烷和三氯氢硅;(2)将裂解反应的剩余液体进行低温结晶,过滤分离出晶体。本发明所提供的裂解反应与结晶分离结合的方法,对设备要求低,制备过程简单,耗能低,对多晶硅二聚体中分离Si2Cl6效果促进明显。