硅基脊型波导调制器及其制造方法

    公开(公告)号:CN105487263A

    公开(公告)日:2016-04-13

    申请号:CN201510387070.1

    申请日:2015-06-30

    IPC分类号: G02F1/01

    摘要: 本发明公开了光电器件的各种结构及其制造方法。光电器件可包括硅基脊型波导调制器,所述硅基脊型波导调制器可包括第一顶部硅层,第二顶部硅层和薄栅介质层。所述第一顶部硅层包括第一掺杂区,所述第一掺杂区至少部分地用第一导电型掺杂剂进行掺杂;所述第二顶部硅层包括第二掺杂区,所述第二掺杂区至少部分地用第二导电型掺杂剂进行掺杂;所述薄栅介质层设于所述第一顶部硅层和第二顶部硅层之间。所述第二掺杂区至少部分在所述第一掺杂区的正上方。所述调制器也可包括形成于所述第二顶部硅层上的脊型波导、形成于所述第一顶部硅层上的第一电触头、和形成于所述第二顶部硅层上的第二电触头。

    带有边缘耦合器的硅光子低回波损耗封装结构

    公开(公告)号:CN107065082B

    公开(公告)日:2019-03-05

    申请号:CN201710056360.7

    申请日:2017-01-25

    IPC分类号: G02B6/42

    摘要: 本发明提供了一种在分布式反馈激光二极管(DFB‑LD)和硅光子集成电路芯片(Si PIC)边缘耦合器之间耦合的具有低回波损耗的新颖、紧凑且高效的封装结构,包括:DFB‑LD;Si PIC,其包括至少一个输入边缘耦合器和至少一个输出边缘耦合器;硅石罩盖,其设置在所述硅光子集成电路芯片的顶部并且与所述硅光子集成电路芯片边对边对齐;单模光纤,其对齐所述至少一个输出边缘耦合器;透镜,其设置在所述分布式反馈激光器和所述硅光子集成电路芯片的所述至少一个输入边缘耦合器之间;和隔离器,其采用折射率匹配流体结合到所述至少一个输入边缘耦合器的刻面。所述透镜配置成最小化所述分布式反馈激光二极管的输出光斑尺寸和所述硅光子集成电路芯片的至少一个输入边缘耦合器的光斑尺寸之间的不匹配。

    硅基脊型波导调制器及其制造方法

    公开(公告)号:CN105487263B

    公开(公告)日:2018-04-13

    申请号:CN201510387070.1

    申请日:2015-06-30

    IPC分类号: G02F1/01

    摘要: 本发明公开了光电器件的各种结构及其制造方法。光电器件可包括硅基脊型波导调制器,所述硅基脊型波导调制器可包括第一顶部硅层,第二顶部硅层和薄栅介质层。所述第一顶部硅层包括第一掺杂区,所述第一掺杂区至少部分地用第一导电型掺杂剂进行掺杂;所述第二顶部硅层包括第二掺杂区,所述第二掺杂区至少部分地用第二导电型掺杂剂进行掺杂;所述薄栅介质层设于所述第一顶部硅层和第二顶部硅层之间。所述第二掺杂区至少部分在所述第一掺杂区的正上方。所述调制器也可包括形成于所述第二顶部硅层上的脊型波导、形成于所述第一顶部硅层上的第一电触头、和形成于所述第二顶部硅层上的第二电触头。