公开(公告)号：CN103403123B

公开(公告)日：2015-04-08

申请号：CN201280006289.7

申请日：2012-01-18

Applicant: 福吉米株式会社

Inventor： 土屋公亮 ,  久保惠 ,  高桥修平

IPC: H01L21/304 ,  C09K3/14

CPC classification number: H01L21/30625 ,  B24B37/044 ,  C09G1/02 ,  C09G1/04 ,  C09K3/1409 ,  H01L21/02024

Abstract: 提供一种研磨用组合物，其特征在于：包括至少一种有机酸或有机酸盐，并包括包含羟乙基纤维素、氨、磨料粒和水的组合物(A)；且所述研磨用组合物的电导率比所述组合物(A)的电导率大1.2-8倍。所述研磨用组合物主要用于基板表面研磨的用途。

公开(公告)号：CN103403123A

公开(公告)日：2013-11-20

申请号：CN201280006289.7

申请日：2012-01-18

Applicant: 福吉米株式会社

Inventor： 土屋公亮 ,  久保惠 ,  高桥修平

IPC: C09K3/14 ,  B24B37/00 ,  H01L21/304

CPC classification number: H01L21/30625 ,  B24B37/044 ,  C09G1/02 ,  C09G1/04 ,  C09K3/1409 ,  H01L21/02024

Abstract: 提供一种研磨用组合物，其特征在于：包括至少一种有机酸或有机酸盐，并包括包含羟乙基纤维素、氨、磨料粒和水的组合物(A)；且所述研磨用组合物的电导率比所述组合物(A)的电导率大1.2-8倍。所述研磨用组合物主要用于基板表面研磨的用途。