公开(公告)号：CN110313053A

公开(公告)日：2019-10-08

申请号：CN201880012898.0

申请日：2018-02-06

Applicant: 福吉米株式会社

Inventor： 唐仁原和马 ,  三轮直也 ,  芦高圭史

IPC: H01L21/304 ,  B24B37/00 ,  C09K3/14

Abstract: [课题]课题为提供一种研磨碳化硅基板的研磨方法，其即便使用通常不会提高研磨速度的研磨垫，也能够提高研磨速度。[解决方案]一种研磨方法，其为研磨碳化硅基板的研磨方法，其包括使用研磨垫并以含有磨粒的研磨构件A进行研磨的一次研磨工序，前述一次研磨工序为伴随所述磨粒与所述碳化硅基板的固相反应而进行的研磨。

公开(公告)号：CN106164208A

公开(公告)日：2016-11-23

申请号：CN201580017715.0

申请日：2015-04-02

Applicant: 福吉米株式会社

Inventor： 芦高圭史 ,  唐仁原和马 ,  三轮直也

IPC: C09K3/14 ,  B24B37/04 ,  C09G1/02 ,  C23F3/06

CPC classification number: C09G1/02 ,  B24B37/044 ,  C09K3/1409 ,  C09K3/1463 ,  C23F3/06

Abstract: 本发明提供在研磨由硬质材料形成的研磨对象物的用途中，能以高的研磨速度进行研磨的研磨用组合物及使用该研磨用组合物的硬质材料的制造方法。本发明所提供的研磨用组合物是使由二硼化钛形成的磨粒分散在分散体中而成的。另外，本发明所提供的硬质材料的制造方法包含使用上述研磨用组合物来研磨硬质材料表面的工序。