公开(公告)号：CN114479157A

公开(公告)日：2022-05-13

申请号：CN202210076420.2

申请日：2022-01-24

Applicant: 福州大学

Inventor： 陈惠鹏 ,  王晖 ,  陈耿旭 ,  郭太良 ,  饶智超 ,  汪秀梅 ,  刘亚倩 ,  李恩龙

IPC: C08J7/18 ,  C08J7/00 ,  C08L53/02

Abstract: 本发明提供了一种应变隔离的可拉伸衬底的实现方法，采用一弹性体聚合物薄膜，该薄膜通过采用溶液法，并利用旋涂工艺在基底上成膜后，将液体有机小分子单体、交联剂、光引发剂混合溶液渗入该薄膜中，再经过激光照射部分区域，使被照射部分的所述混合溶液中的小分子单体形成交联网络嵌入弹性体聚合物中，形成互穿网络，大大增强该弹性薄膜局部区域的机械强度。应用本技术方案可有效保护其局部区域在拉伸状态下不产生形变，实现应变隔离的效果，各种类型的器件可以直接制备或转移至其刚度加强的区域，保证在衬底拉伸状态下，器件不被破坏。

公开(公告)号：CN117855148A

公开(公告)日：2024-04-09

申请号：CN202410026149.0

申请日：2024-01-08

Applicant: 福州大学

Inventor： 陈惠鹏 ,  覃琮尧 ,  王晖 ,  陈耿旭 ,  郭太良

IPC: H01L23/14 ,  H01L23/00 ,  H01L21/48 ,  B23K26/12 ,  B23K26/53

Abstract: 本发明公开一种梯度应变隔离的可拉伸衬底，涉及集成电路领域，包括：弹性体聚合物薄膜；弹性体聚合物薄膜用于渗入液体有机小分子单体、交联剂、光引发剂混合溶液形成混合膜层，并经第一掩膜版激光曝光形成可拉伸衬底；其中，混合膜层被照射部分的混合溶液中的小分子单体形成交联网络而发生与激光照射强度相对应的固化；第一掩膜版包括高透光率区、过渡区和低透光率区，高透光率区所形成的交联网络密度最高，低透光率区所形成的交联网络密度最低，过渡区所形成的交联网络密度位于二者之间，且在过渡区的掩膜区域透光率呈梯度变化而使曝光后的可拉伸衬底弹性变化平滑。本发明能够有助于减少应力集中和材料破坏的风险，提高材料的可靠性和耐久性。