公开(公告)号：CN108151531A

公开(公告)日：2018-06-12

申请号：CN201711384094.7

申请日：2017-12-20

申请人： 福建阿石创新材料股份有限公司

发明人： 张科 ,  陈钦忠 ,  谈耀宏 ,  陈峥铭 ,  卢桂林

IPC分类号： F27B7/06 ,  F27B7/10 ,  F27B7/28 ,  F27B7/34 ,  F27B7/36 ,  F27B7/42 ,  C04B35/457 ,  C04B35/622 ,  C04B35/64

CPC分类号： F27B7/06 ,  C04B35/457 ,  C04B35/622 ,  C04B35/64 ,  C04B2235/3286 ,  C04B2235/6585 ,  C04B2235/66 ,  F27B7/10 ,  F27B7/28 ,  F27B7/34 ,  F27B7/36 ,  F27B7/42 ,  F27M2003/04

摘要： 本发明公开了一种管状ITO靶材的高温离心烧结装置，包括底座、转盘、制靶室、电热元件和供氧装置，转盘设置于底座顶部，制靶室设置于转盘顶部，转盘能够带动制靶室转动，电热元件设置于制靶室内部，电热元件由制靶室的底部延伸到制靶室的顶部，供氧装置用于向制靶室内部充入氧气；本发明在管状ITO靶材的高温离心烧结装置的基础上还公开了一种管状ITO靶材的高温离心烧结方法，包括混分原料的配置，处理和置于制靶室内部进行烧结成型，烧结过程中开启转盘，电热元件和供氧装置，最后在离心力作用下原料在制靶室侧壁上烧结成型；本发明能够成型大尺寸靶材，并且极大的提高了出品率和良品率。

公开(公告)号：CN108151531B

公开(公告)日：2019-05-17

申请号：CN201711384094.7

申请日：2017-12-20

申请人： 福建阿石创新材料股份有限公司

发明人： 张科 ,  陈钦忠 ,  谈耀宏 ,  陈峥铭 ,  卢桂林

IPC分类号： F27B7/06 ,  F27B7/10 ,  F27B7/28 ,  F27B7/34 ,  F27B7/36 ,  F27B7/42 ,  C04B35/457 ,  C04B35/622 ,  C04B35/64

摘要： 本发明公开了一种管状ITO靶材的高温离心烧结装置，包括底座、转盘、制靶室、电热元件和供氧装置，转盘设置于底座顶部，制靶室设置于转盘顶部，转盘能够带动制靶室转动，电热元件设置于制靶室内部，电热元件由制靶室的底部延伸到制靶室的顶部，供氧装置用于向制靶室内部充入氧气；本发明在管状ITO靶材的高温离心烧结装置的基础上还公开了一种管状ITO靶材的高温离心烧结方法，包括混分原料的配置，处理和置于制靶室内部进行烧结成型，烧结过程中开启转盘，电热元件和供氧装置，最后在离心力作用下原料在制靶室侧壁上烧结成型；本发明能够成型大尺寸靶材，并且极大的提高了出品率和良品率。