专利检索 ap:("福建阿石创新材料股份有限公司") AND inv:"林鑫" 第 1 页

1.

发明公开
一种金属靶材的焊接方法审中-实审

公开(公告)号：CN117817092A

公开(公告)日：2024-04-05

申请号：CN202410199952.4

申请日：2024-02-23

申请人： 福建阿石创新材料股份有限公司

发明人： 鄢展圣 , 侯庆龙 , 林鑫 , 陈佳

IPC分类号： B23K20/08 , B23K20/24 , B23K20/26

摘要： 本发明提供了一种金属靶材的焊接方法，属于半导体靶材技术领域。本发明提供了一种金属靶材的焊接方法，包括以下步骤：将背板的焊接面加工成齿形，然后在所述齿形的表面镀焊接材料，得到镀焊接材料的背板；将金属靶材与所述镀焊接材料的背板的焊接面进行爆炸焊接。本发明在背板的焊接面增加齿形设计，然后镀焊接材料能够提高焊接强度；采用爆炸焊接的方法对金属靶材进行快速焊接，能够提高焊接强度，焊接界面均匀一致，界面无过度熔化和分层以及不结合的问题，焊接后靶材晶粒没有明显长大。实验结果表明，本申请提供的焊接方法焊合强度≥80MPa，焊接界面均匀一致，界面无过度熔化和分层以及不结合的问题，焊接后靶材晶粒没有明显长大。