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公开(公告)号：CN109564157B
公开(公告)日：2022-06-17
申请号：CN201780050429.3
申请日：2017-08-09
Applicant: 科磊股份有限公司
Inventor： 安迪(安德鲁)·希尔 , 阿姆农·玛纳森 , 欧哈德·巴沙尔
Abstract: 本发明涉及一种度量系统，其包含：照明源，其用于产生照明光束；多通道光谱滤波器；聚焦元件，其用于将照明从单个光学柱引导到样本；及至少一个检测器，其用于捕获从所述样本收集的照明。所述多通道光谱滤波器包含具有两个或两个以上通道光束路径的两个或两个以上滤波通道。所述两个或两个以上滤波通道基于两个或两个以上光谱透射率分布来过滤沿所述两个或两个以上通道光束路径传播的照明。所述多通道光学滤波器进一步包含用于将所述照明光束的至少一部分引导到至少一个选定滤波通道中以过滤所述照明光束的通道选择器。所述多通道光谱滤波器进一步包含用于将来自所述两个或两个以上滤波通道的照明组合成单个光学柱的至少一个光束组合器。
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公开(公告)号：CN112432926A
公开(公告)日：2021-03-02
申请号：CN202011221908.7
申请日：2017-07-28
Applicant: 科磊股份有限公司
Inventor： 安迪(安德鲁)·希尔 , 阿姆农·玛纳森 , 尤里·帕斯卡维尔 , 尤瓦尔·卢巴舍夫斯基
Abstract: 本申请实施例涉及同时捕捉来自多个目标的重叠信号。本发明提供计量方法及系统，其中在所述计量系统的光学系统的收集路径的场平面处将经检测图像分裂成至少两个光瞳平面图像。例如棱镜的光学元件可用于分裂所述场平面图像，且可通过空间分裂所述场平面及/或所述照明源及/或通过使用两个极化类型来同时测量多个目标或目标单元。同时捕捉多个目标或目标单元会增加所揭示计量系统的吞吐量。
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公开(公告)号：CN109564160B
公开(公告)日：2020-11-10
申请号：CN201780046742.X
申请日：2017-07-28
Applicant: 科磊股份有限公司
Inventor： 安迪(安德鲁)·希尔 , 阿姆农·玛纳森 , 尤里·帕斯卡维尔 , 尤瓦尔·卢巴舍夫斯基
Abstract: 本发明提供计量方法及系统，其中在所述计量系统的光学系统的收集路径的场平面处将经检测图像分裂成至少两个光瞳平面图像。例如棱镜的光学元件可用于分裂所述场平面图像，且可通过空间分裂所述场平面及/或所述照明源及/或通过使用两个极化类型来同时测量多个目标或目标单元。同时捕捉多个目标或目标单元会增加所揭示计量系统的吞吐量。
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公开(公告)号：CN111043958A
公开(公告)日：2020-04-21
申请号：CN201911299611.X
申请日：2014-06-26
Applicant: 科磊股份有限公司
IPC: G01B11/00 , G01B11/24 , G01N21/88 , G01N21/95 , H01L23/544
Abstract: 本申请实施例涉及一种计量学目标的极化测量及对应的目标设计。本发明提供目标、目标元件及目标设计方法，其包括将目标结构设计为具有相对于其在极化光中的背景的高于特定对比度阈值的高对比度，同时具有相对于其在非极化光中的背景的低于所述特定对比度阈值的低对比度。所述目标可具有装置特征级的细节且可与装置设计规则兼容，在结合极化照明测量时仍维持光学对比度且因此被有效用作计量学目标。同样提供设计变型及相应测量光学系统。
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公开(公告)号：CN105408721B
公开(公告)日：2020-01-10
申请号：CN201480041321.4
申请日：2014-06-26
Applicant: 科磊股份有限公司
Abstract: 本发明提供目标、目标元件及目标设计方法，其包括将目标结构设计为具有相对于其在极化光中的背景的高于特定对比度阈值的高对比度，同时具有相对于其在非极化光中的背景的低于所述特定对比度阈值的低对比度。所述目标可具有装置特征级的细节且可与装置设计规则兼容，在结合极化照明测量时仍维持光学对比度且因此被有效用作计量学目标。同样提供设计变型及相应测量光学系统。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105051880A
公开(公告)日：2015-11-11
申请号：CN201480017857.2
申请日：2014-02-21
Applicant: 科磊股份有限公司
Inventor： 格雷戈里·布雷迪 , 安德烈·V·舒杰葛洛夫 , 劳伦斯·D·罗特 , 德里克·萨乌夫尼斯 , 阿纳托利·夏册梅里尼 , 里亚·贝泽尔 , 穆沙米尔·阿蓝 , 阿纳托利·瓦西列夫 , 詹姆斯·艾伦 , 奥列格·舒列波夫 , 安德鲁·希尔 , 欧哈德·巴沙尔 , 摩西·马科维茨 , 亚龙·伊什-沙洛姆 , 利安·瑟拉 , 阿姆农·玛纳森 , 亚历山大·斯维泽尔 , 马克西姆·霍赫洛夫 , 阿维·阿布拉莫夫 , 奥列格·特斯布列维斯基 , 丹尼尔·坎德尔 , 马克·吉诺乌克
IPC: H01L21/66
Abstract: 本发明针对于用于向用于光学计量的测量头提供照明的系统。在本发明的一些实施例中，来自多个照明源的照明光束经组合以将处于一或多个选定波长的照明递送到所述测量头。在本发明的一些实施例中，递送到所述测量头的照明的强度及/或空间相干性被控制。在本发明的一些实施例中，处于一或多个选定波长的照明是从经配置用于提供处于连续波长范围的照明的宽带照明源递送的。
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公开(公告)号：CN110632703B
公开(公告)日：2020-10-27
申请号：CN201910763022.6
申请日：2014-02-21
Applicant: 科磊股份有限公司
Inventor： 格雷戈里·布雷迪 , 安德烈·V·舒杰葛洛夫 , 劳伦斯·D·罗特 , 德里克·萨乌夫尼斯 , 阿纳托利·夏册梅里尼 , 里亚·贝泽尔 , 穆沙米尔·阿蓝 , 阿纳托利·瓦西列夫 , 詹姆斯·艾伦 , 奥列格·舒列波夫 , 安德鲁·希尔 , 欧哈德·巴沙尔 , 摩西·马科维茨 , 亚龙·伊什-沙洛姆 , 利安·瑟拉 , 阿姆农·玛纳森 , 亚历山大·斯维泽尔 , 马克西姆·霍赫洛夫 , 阿维·阿布拉莫夫 , 奥列格·特斯布列维斯基 , 丹尼尔·坎德尔 , 马克·吉诺乌克
Abstract: 本发明针对于用于向用于光学计量的测量头提供照明的系统。在本发明的一些实施例中，来自多个照明源的照明光束经组合以将处于一或多个选定波长的照明递送到所述测量头。在本发明的一些实施例中，递送到所述测量头的照明的强度及/或空间相干性被控制。在本发明的一些实施例中，处于一或多个选定波长的照明是从经配置用于提供处于连续波长范围的照明的宽带照明源递送的。
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公开(公告)号：CN110632703A
公开(公告)日：2019-12-31
申请号：CN201910763022.6
申请日：2014-02-21
Applicant: 科磊股份有限公司
Inventor： 格雷戈里·布雷迪 , 安德烈·V·舒杰葛洛夫 , 劳伦斯·D·罗特 , 德里克·萨乌夫尼斯 , 阿纳托利·夏册梅里尼 , 里亚·贝泽尔 , 穆沙米尔·阿蓝 , 阿纳托利·瓦西列夫 , 詹姆斯·艾伦 , 奥列格·舒列波夫 , 安德鲁·希尔 , 欧哈德·巴沙尔 , 摩西·马科维茨 , 亚龙·伊什-沙洛姆 , 利安·瑟拉 , 阿姆农·玛纳森 , 亚历山大·斯维泽尔 , 马克西姆·霍赫洛夫 , 阿维·阿布拉莫夫 , 奥列格·特斯布列维斯基 , 丹尼尔·坎德尔 , 马克·吉诺乌克
Abstract: 本发明针对于用于向用于光学计量的测量头提供照明的系统。在本发明的一些实施例中，来自多个照明源的照明光束经组合以将处于一或多个选定波长的照明递送到所述测量头。在本发明的一些实施例中，递送到所述测量头的照明的强度及/或空间相干性被控制。在本发明的一些实施例中，处于一或多个选定波长的照明是从经配置用于提供处于连续波长范围的照明的宽带照明源递送的。
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公开(公告)号：CN105051880B
公开(公告)日：2019-09-13
申请号：CN201480017857.2
申请日：2014-02-21
Applicant: 科磊股份有限公司
Inventor： 格雷戈里·布雷迪 , 安德烈·V·舒杰葛洛夫 , 劳伦斯·D·罗特 , 德里克·萨乌夫尼斯 , 阿纳托利·夏册梅里尼 , 里亚·贝泽尔 , 穆沙米尔·阿蓝 , 阿纳托利·瓦西列夫 , 詹姆斯·艾伦 , 奥列格·舒列波夫 , 安德鲁·希尔 , 欧哈德·巴沙尔 , 摩西·马科维茨 , 亚龙·伊什-沙洛姆 , 利安·瑟拉 , 阿姆农·玛纳森 , 亚历山大·斯维泽尔 , 马克西姆·霍赫洛夫 , 阿维·阿布拉莫夫 , 奥列格·特斯布列维斯基 , 丹尼尔·坎德尔 , 马克·吉诺乌克
IPC: H01L21/66
Abstract: 本发明针对于用于向用于光学计量的测量头提供照明的系统。在本发明的一些实施例中，来自多个照明源的照明光束经组合以将处于一或多个选定波长的照明递送到所述测量头。在本发明的一些实施例中，递送到所述测量头的照明的强度及/或空间相干性被控制。在本发明的一些实施例中，处于一或多个选定波长的照明是从经配置用于提供处于连续波长范围的照明的宽带照明源递送的。
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公开(公告)号：CN105008982A
公开(公告)日：2015-10-28
申请号：CN201380073143.9
申请日：2013-12-17
Applicant: 科磊股份有限公司
IPC: G02B27/10
CPC classification number: G01B11/02 , F21V5/02 , F21V5/04 , F21V9/40 , F21V14/08 , G01N21/55 , G02B5/18 , G02B5/205 , G02B6/0005 , G02B6/02 , G02B6/3512 , G02B6/4215 , G02B26/008 , G02B26/023 , G02B26/04 , G02B26/0816 , G02B27/1026 , G02B27/141 , G02B27/146
Abstract: 本发明涉及一种控制照明的光谱属性的系统及方法。根据各种实施例，阻断包含经排除的照明光谱选集的照明的部分，同时沿照明路径引导包含经传输的照明光谱选集的照明的另一部分。在一些实施例中，利用光谱受控照明来执行光学计量以增强测量能力。例如，可根据与样品的经分析部分相关联的某些测量特性选择用以分析所述样品的不同部分，例如不同半导体层的照明的光谱属性。
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