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公开(公告)号:CN118020146A
公开(公告)日:2024-05-10
申请号:CN202380013722.8
申请日:2023-03-31
申请人: 科磊股份有限公司
发明人: B·达菲 , B·里斯 , L·卡尔森迪 , K·S·维尔克 , A·埃尔龙 , R·贝尔迪彻夫斯凯 , O·B·什穆埃尔 , S·芬斯特 , Y·戈尔斯基 , O·多夫拉特 , R·德克尔 , E·加尔宾 , S·斯梅霍夫
摘要: 公开一种基于上下文的检验系统。所述系统可包含光学成像子系统。所述系统可进一步包含通信地耦合到所述光学成像系统的一或多个控制器。所述一或多个控制器可经配置以:接收一或多个参考图像;接收样本的一或多个测试图像;在检验运行时间期间使用非监督式分类器产生一或多个概率上下文图;在所述检验运行时间期间将所述经产生的一或多个概率上下文图提供到监督式分类器;及将所述监督式分类器应用于所述经接收的一或多个测试图像以识别所述样本上的一或多个DOI。