可动反射装置和使用该可动反射装置的反射面驱动系统

    公开(公告)号:CN107615131B

    公开(公告)日:2020-07-07

    申请号:CN201680033019.3

    申请日:2016-06-07

    IPC分类号: G02B26/08 B81B3/00 G02B26/10

    摘要: 利用两条字母U字状臂部将形成有反射层(165)的镜体部(160)支承在框状的支承部(110)的内部。板状的臂部(120)将固定点(Q1、Q2)之间连接起来,板状的臂部(130)将固定点(Q3、Q4)之间连接起来。在臂部(120)的外侧的桥梁体(121)的上表面沿长度方向轴线(L1)设有一对压电元件(E11、E12),在内侧的桥梁体(122)的上表面沿着长度方向轴线(L2)设有单一的压电元件(E20)。同样,在臂部(130)的外侧的桥梁体(131)的上表面设有一对压电元件(E31、E32),在内侧的桥梁体(132)的上表面设有单一的压电元件(E40)。对压电元件(E11、E20、E31、E40)发送正驱动信号,对压电元件(E12、E32)发送负驱动信号时,镜体部(160)有效地产生位移。

    可动反射装置和使用该可动反射装置的反射面驱动系统

    公开(公告)号:CN107615131A

    公开(公告)日:2018-01-19

    申请号:CN201680033019.3

    申请日:2016-06-07

    IPC分类号: G02B26/08 B81B3/00 G02B26/10

    摘要: 利用两条字母U字状臂部将形成有反射层(165)的镜体部(160)支承在框状的支承部(110)的内部。板状的臂部(120)将固定点(Q1、Q2)之间连接起来,板状的臂部(130)将固定点(Q3、Q4)之间连接起来。在臂部(120)的外侧的桥梁体(121)的上表面沿长度方向轴线(L1)设有一对压电元件(E11、E12),在内侧的桥梁体(122)的上表面沿着长度方向轴线(L2)设有单一的压电元件(E20)。同样,在臂部(130)的外侧的桥梁体(131)的上表面设有一对压电元件(E31、E32),在内侧的桥梁体(132)的上表面设有单一的压电元件(E40)。对压电元件(E11、E20、E31、E40)发送正驱动信号,对压电元件(E12、E32)发送负驱动信号时,镜体部(160)有效地产生位移。

    可动反射元件和二维扫描装置

    公开(公告)号:CN107636512B

    公开(公告)日:2020-05-01

    申请号:CN201680034196.3

    申请日:2016-06-06

    IPC分类号: G02B26/10 B81B3/00 G02B26/08

    摘要: 致动器部(140)的一对构件分别配置于可动框(120)的X轴方向上的两侧,利用压电元件的伸缩进行变形而使可动框(120)以X轴为中心相对于固定框(110)摆动。致动器部(150)的一对构件分别配置于镜面部(130)的Y轴方向上的两侧,利用压电元件的伸缩进行变形而使镜面部(130)以Y轴为中心相对于可动框(120)摆动。致动器部(140)的沿着Y轴方向延伸的部分的长度大于从固定框(110)的与致动器部(140)连接的内边到可动框(120)的沿着Y轴方向延伸的外边的中点为止的距离。

    可动反射元件和二维扫描装置

    公开(公告)号:CN107636512A

    公开(公告)日:2018-01-26

    申请号:CN201680034196.3

    申请日:2016-06-06

    IPC分类号: G02B26/10 B81B3/00 G02B26/08

    摘要: 致动器部(140)的一对构件分别配置于可动框(120)的X轴方向上的两侧,利用压电元件的伸缩进行变形而使可动框(120)以X轴为中心相对于固定框(110)摆动。致动器部(150)的一对构件分别配置于镜面部(130)的Y轴方向上的两侧,利用压电元件的伸缩进行变形而使镜面部(130)以Y轴为中心相对于可动框(120)摆动。致动器部(140)的沿着Y轴方向延伸的部分的长度大于从固定框(110)的与致动器部(140)连接的内边到可动框(120)的沿着Y轴方向延伸的外边的中点为止的距离。