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公开(公告)号:CN1688748A
公开(公告)日:2005-10-26
申请号:CN03824046.7
申请日:2003-09-30
Applicant: 米歇尔技术公司
IPC: C23G1/02
CPC classification number: C23F1/10 , H01L21/02052 , H01L21/31116 , H01L21/32051 , H01L21/32134
Abstract: 本发明涉及可用于从基体上清除金属或者在基体上涂布金属的组合物。这种组合物包括:(a)致密二氧化碳连续相;(b)在所述二氧化碳连续相中的极性分散相;(c)在所述分散相中的金属(即从该基体上除去的或待涂布在该基体上的金属);以及(d)在所述连续相中、所述分散相中,或者同时在所述连续相和所述分散相中的至少一种配位体。
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公开(公告)号:CN1365408A
公开(公告)日:2002-08-21
申请号:CN00809461.6
申请日:2000-05-12
Applicant: 米歇尔技术公司
CPC classification number: D06F43/005 , B08B7/0021 , D06F43/007 , D06F43/08
Abstract: 一种用于向二氧化碳清洗仪中控制添加洗涤剂制剂及其类似物的系统包括:高压洗槽(11)、辅助槽(12)、连接辅助槽与洗槽的排放管线(13)、任选但优选连接辅助槽与洗槽的独立排气管线(14)、洗涤剂储罐(15)以及连接洗涤剂储罐与辅助槽的洗涤剂供应管线(16)。此仪器的优点是,因为上述洗涤剂制剂能够按预定的等份量或数量被抽入辅助槽,随后该预定的等份量或数量能够被输送到洗槽中并在洗槽中与液体二氧化碳清洗液相结合,因此可以按一种更可控的或精确的方式将该洗涤剂制剂加入到所述清洗液中。
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