公开(公告)号：CN103257657B

公开(公告)日：2016-12-28

申请号：CN201310035060.2

申请日：2013-01-29

申请人： 精工爱普生株式会社

发明人： 前田政已 ,  下岛聪兴

IPC分类号： G05D23/20 ,  G01R31/00

CPC分类号： F28F27/00 ,  G01R31/2867 ,  G01R31/2868 ,  G01R31/2874 ,  H01L21/67109 ,  H01L21/67248

摘要： 本发明提供一种输送器以及部件检查装置。该输送器具备：与收容凹槽对应的第一冷却路径以及第二冷却路径；第一供给路径；与第一供给路径分支的第二供给路；使第二冷却路径中的制冷剂的流量比第一冷却路径多的第一节流阀；对各收容凹槽进行加热的加热器；检测各收容凹槽的温度的温度传感器；以及为了使各温度传感器的检测值成为目标温度而控制阀的开闭状态与加热器的输出，并且控制加热器的输出的控制装置。

公开(公告)号：CN103241547B

公开(公告)日：2016-10-05

申请号：CN201310048260.1

申请日：2013-02-06

申请人： 精工爱普生株式会社

发明人： 前田政已 ,  下岛聪兴

IPC分类号： B65G49/00

CPC分类号： B65G49/00 ,  G01R31/2893 ,  H01L21/67109 ,  H01L21/6838

摘要： 本发明提供部件检查装置以及处理器。处理器具有载置设备并冷却设备的供给用往复板、和从供给用往复板对载置于供给用往复板的设备进行输送的输送机器人。输送机器人具备：对载置于供给用往复板的设备进行吸附的吸附部、使吸附部离开供给用往复板的垂直移动臂、在离开供给用往复板的状态下将吸附部与设备一起容纳的臂箱、以及将干燥的气体供给至臂箱内的干燥空气供给部。

公开(公告)号：CN103257657A

公开(公告)日：2013-08-21

申请号：CN201310035060.2

申请日：2013-01-29

申请人： 精工爱普生株式会社

发明人： 前田政已 ,  下岛聪兴

IPC分类号： G05D23/20 ,  G01R31/00

CPC分类号： F28F27/00 ,  G01R31/2867 ,  G01R31/2868 ,  G01R31/2874 ,  H01L21/67109 ,  H01L21/67248

摘要： 本发明提供一种输送器以及部件检查装置。该输送器具备：与收容凹槽对应的第一冷却路径以及第二冷却路径；第一供给路径；与第一供给路径分支的第二供给路；使第二冷却路径中的制冷剂的流量比第一冷却路径多的第一节流阀；对各收容凹槽进行加热的加热器；检测各收容凹槽的温度的温度传感器；以及为了使各温度传感器的检测值成为目标温度而控制阀的开闭状态与加热器的输出，并且控制加热器的输出的控制装置。

公开(公告)号：CN103241547A

公开(公告)日：2013-08-14

申请号：CN201310048260.1

申请日：2013-02-06

申请人： 精工爱普生株式会社

发明人： 前田政已 ,  下岛聪兴

IPC分类号： B65G49/00

CPC分类号： B65G49/00 ,  G01R31/2893 ,  H01L21/67109 ,  H01L21/6838

摘要： 本发明提供部件检查装置以及处理器。处理器具有载置设备并冷却设备的供给用往复板、和从供给用往复板对载置于供给用往复板的设备进行输送的输送机器人。输送机器人具备：对载置于供给用往复板的设备进行吸附的吸附部、使吸附部离开供给用往复板的垂直移动臂、在离开供给用往复板的状态下将吸附部与设备一起容纳的臂箱、以及将干燥的气体供给至臂箱内的干燥空气供给部。

公开(公告)号：CN203519648U

公开(公告)日：2014-04-02

申请号：CN201320381990.9

申请日：2013-06-28

申请人： 精工爱普生株式会社

发明人： 长谷川信夫 ,  前田政已

IPC分类号： G01R1/02

摘要： 本实用新型提供输送装置以及检查装置。本实用新型的输送装置具有：基部；被固定于基部的第一支承部；被支承于第一支承部的吸附管嘴；能够相对于第一支承部在Y方向移动的第一移动部；被支承于第一移动部的吸附管嘴；能够在基部沿X方向移动的第二支承部；被支承于第二支承部的吸附管嘴；能够相对于第二支承部在Y方向移动的第二移动部；被支承于第二移动部的吸附管嘴；使第一移动部、第二移动部一体地在Y方向移动并使吸附管嘴与吸附管嘴的离开距离变化的Y方向移动机构；以及使第一支承部、第二支承部的离开距离变化的X方向移动机构。