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公开(公告)号：CN100438334C
公开(公告)日：2008-11-26
申请号：CN200410095586.0
申请日：2004-12-02
申请人： 精工爱普生株式会社
CPC分类号： H03H9/2431 , H03H3/0072 , H03H9/02259 , H03H9/02433 , H03H9/1057 , H03H9/2436 , H03H9/2457 , H03H9/2463 , H03H2009/02496 , H03H2009/02503 , H03H2009/02519
摘要： 本发明提供一种微型机械式静电振子(100)，其具有：板状振动体(105)；分别相对配置在振动体的两侧并且相对振动体的外周部具有空隙(106)的一对电极(107、107)；向该一对电极施加同相交流电力的供电单元(110)；获得与振动体和电极之间的静电电容的变化对应的输出的检测单元(103、120)，其特征在于，振动体的平面形状形成为具有包括中间变细的曲线状轮廓部的形状。与以往技术相比，本发明的微型机械式静电振子容易实现高频化、能够增大输出电压相对输入电压的比、并可以降低驱动电压和节省电力。
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公开(公告)号：CN109839515B
公开(公告)日：2022-08-23
申请号：CN201811416605.3
申请日：2018-11-26
申请人： 精工爱普生株式会社
发明人： 木原竜儿
IPC分类号： G01C19/5705 , G01C19/5733 , G01C19/5769 , G01C19/5783 , G01P15/125 , G01P15/18
摘要： 本发明涉及物理量传感器、电子机器及移动体。本发明的物理量传感器具有可动部，该可动部包括位于与旋转轴正交的第一方向一侧的第一质量部及位于另一侧的第二质量部、以及连结第一质量部和第二质量部的连结部。另外，连结部包括第一缝隙、位于第一缝隙的一侧的第二缝隙、和位于另一侧的第三缝隙。而且，当在俯视下，将通过第一缝隙的中心且沿着第一方向的轴作为第一中心轴，将通过第二缝隙的中心且沿着第一方向的轴作为第二中心轴，将通过第三缝隙的中心且沿着第一方向的轴作为第三中心轴时，第二中心轴以及第三中心轴分别相对于第一中心轴在旋转轴的方向上错开。
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公开(公告)号：CN1661902A
公开(公告)日：2005-08-31
申请号：CN200510052488.3
申请日：2005-02-25
申请人： 精工爱普生株式会社
发明人： 木原竜儿
摘要： 本发明提供一种静电致动器，该致动器能够获得较大的驱动力，而且能够减小占有面积，并容易进行可动电极的制造。本发明的微机械静电致动器(100)，其特征在于，具有基板；可动电极(102)，被支承在上述基板上并能够沿着上述基板的表面的平面方向移动，而且呈具有开口部(102a)的框形状，开口部(102a)在与上述平面方向正交的垂直方向贯通；驱动电极(103A、103B)，在上述基板上，配置在上述开口部内；电压施加单元，向上述可动电极与上述驱动电极之间施加电压；信号输出单元，输出与上述可动电极的移动相对应的输出信号。
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公开(公告)号：CN108692745A
公开(公告)日：2018-10-23
申请号：CN201810298347.7
申请日：2018-04-04
申请人： 精工爱普生株式会社
发明人： 木原竜儿
IPC分类号： G01D5/24
摘要： 本申请公开了一种物理量传感器、电子设备以及移动体。物理量传感器具备：基体(基板)；悬架部(第一延出部)，沿所述基体的主面而在第一方向(Y轴方向)上延伸；固定部，将所述悬架部固定于所述基体上；固定电极部(第一固定电极指)，从所述悬架部沿着所述主面而在与所述第一方向交叉的第二方向(X轴方向)上延伸；以及可动电极部(第一可动电极指)，被设置成与所述固定电极部隔着间隔而相对，所述悬架部在所述第一方向上与所述固定部分离的部分的所述宽度比与所述固定部连接的部分的所述第二方向的宽度窄。
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公开(公告)号：CN109839515A
公开(公告)日：2019-06-04
申请号：CN201811416605.3
申请日：2018-11-26
申请人： 精工爱普生株式会社
发明人： 木原竜儿
IPC分类号： G01P15/125 , G01P15/18
摘要： 本发明涉及物理量传感器、电子机器及移动体。本发明的物理量传感器具有可动部，该可动部包括位于与旋转轴正交的第一方向一侧的第一质量部及位于另一侧的第二质量部、以及连结第一质量部和第二质量部的连结部。另外，连结部包括第一缝隙、位于第一缝隙的一侧的第二缝隙、和位于另一侧的第三缝隙。而且，当在俯视下，将通过第一缝隙的中心且沿着第一方向的轴作为第一中心轴，将通过第二缝隙的中心且沿着第一方向的轴作为第二中心轴，将通过第三缝隙的中心且沿着第一方向的轴作为第三中心轴时，第二中心轴以及第三中心轴分别相对于第一中心轴在旋转轴的方向上错开。
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公开(公告)号：CN100505507C
公开(公告)日：2009-06-24
申请号：CN200510052488.3
申请日：2005-02-25
申请人： 精工爱普生株式会社
发明人： 木原竜儿
摘要： 本发明提供一种静电致动器，该致动器能够获得较大的驱动力，而且能够减小占有面积，并容易进行可动电极的制造。本发明的微机械静电致动器(100)，其特征在于，具有基板；可动电极(102)，被支承在上述基板上并能够沿着上述基板的表面的平面方向移动，而且呈具有开口部(102a)的框形状，开口部(102a)在与上述平面方向正交的垂直方向贯通；驱动电极(103A、103B)，在上述基板上，配置在上述开口部内；电压施加单元，向上述可动电极与上述驱动电极之间施加电压；信号输出单元，输出与上述可动电极的移动相对应的输出信号。
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公开(公告)号：CN1625046A
公开(公告)日：2005-06-08
申请号：CN200410095586.0
申请日：2004-12-02
申请人： 精工爱普生株式会社
CPC分类号： H03H9/2431 , H03H3/0072 , H03H9/02259 , H03H9/02433 , H03H9/1057 , H03H9/2436 , H03H9/2457 , H03H9/2463 , H03H2009/02496 , H03H2009/02503 , H03H2009/02519
摘要： 本发明提供一种微型机械式静电振子(100)，其具有：板状振动体(105)；分别相对配置在振动体的两侧并且相对振动体的外周部具有空隙(106)的一对电极(107、107)；向该一对电极施加同相交流电力的供电单元(110)；获得与振动体和电极之间的静电电容的变化对应的输出的检测单元(103、120)，其特征在于，振动体的平面形状形成为具有包括中间变细的曲线状轮廓部的形状。与以往技术相比，本发明的微型机械式静电振子容易实现高频化、能够增大输出电压相对输入电压的比、并可以降低驱动电压和节省电力。
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