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公开(公告)号：CN102577118B
公开(公告)日：2016-03-16
申请号：CN201080043268.3
申请日：2010-09-27
申请人： 芬兰国家技术研究中心股份公司
CPC分类号： H03H9/02259 , B81B3/0081 , B81B2201/0271 , H03H3/0076 , H03H9/02338 , H03H9/02448 , H03H9/2436 , H03H9/2452 , H03H9/2463 , H03H2003/027 , H03H2003/0407 , H03H2009/02496 , H03H2009/02503 , H03H2009/02511 , H03H2009/241 , H03H2009/2442
摘要： 本发明涉及微机械谐振器，包括：第一材料(2)的基底(1)；悬挂至支承结构(1)的谐振器(3)，谐振器(3)至少部分地具有与支承结构的材料相同的材料(2)，并且形成用于以特定频率f0谐振的尺寸；用于启动、维持谐振器(3)的谐振并且将谐振器(3)的谐振耦接至外部电路(6)的耦接装置(5)；以及所述谐振器(3)包括有第二材料(4)，第二材料(4)的热性质不同于第一材料(2)的热性质。根据本发明，谐振器(3)包括集中位于所述谐振器(3)的特定位置的第二材料(4)。
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公开(公告)号：CN101401303B
公开(公告)日：2011-07-13
申请号：CN200780008457.5
申请日：2007-03-08
申请人： NXP股份有限公司
IPC分类号： H03H9/02
CPC分类号： H03H9/02259 , H03H3/0076 , H03H9/2405 , H03H9/505 , H03H2009/02503
摘要： 本发明涉及具有至少一种谐振器模式形状的MEMS谐振器，所述MEMS谐振器包括：具有表面(12)的衬底(2)和谐振器结构(1)，其中，谐振器结构(1)为衬底(2)的一部分，其特征在于谐振器结构(1)由第一闭合沟槽(3)和第二闭合沟槽(3)限定，第一沟槽(3)位于第二沟槽(3)内，以便在衬底(2)内形成管状结构(1)，并且仅沿与表面(12)平行的方向从衬底(2)释放谐振器结构(1)。本发明还涉及制造这种MEMS谐振器的方法。
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公开(公告)号：CN102577118A
公开(公告)日：2012-07-11
申请号：CN201080043268.3
申请日：2010-09-27
申请人： VTT技术研究中心
CPC分类号： H03H9/02259 , B81B3/0081 , B81B2201/0271 , H03H3/0076 , H03H9/02338 , H03H9/02448 , H03H9/2436 , H03H9/2452 , H03H9/2463 , H03H2003/027 , H03H2003/0407 , H03H2009/02496 , H03H2009/02503 , H03H2009/02511 , H03H2009/241 , H03H2009/2442
摘要： 本发明涉及微机械谐振器，包括：第一材料(2)的基底(1)；悬挂至支承结构(1)的谐振器(3)，谐振器(3)至少部分地具有与支承结构的材料相同的材料(2)，并且形成用于以特定频率f0谐振的尺寸；用于启动、维持谐振器(3)的谐振并且将谐振器(3)的谐振耦接至外部电路(6)的耦接装置(5)；以及所述谐振器(3)包括有第二材料(4)，第二材料(4)的热性质不同于第一材料(2)的热性质。根据本发明，谐振器(3)包括集中位于所述谐振器(3)的特定位置的第二材料(4)。
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公开(公告)号：CN101946410A
公开(公告)日：2011-01-12
申请号：CN200880126943.1
申请日：2008-11-26
申请人： 罗伯特·博世有限公司
IPC分类号： H03H9/46
CPC分类号： H03B5/30 , H03H9/02259 , H03H9/02338 , H03H9/2405 , H03H9/2447 , H03H9/505 , H03H2009/0233 , H03H2009/02385 , H03H2009/0244 , H03H2009/02503
摘要： 布置成N×M MEMS阵列结构的谐振器包括由弯曲/圆角部分连接的基本平直延伸的梁部分，并经由耦合部分机械耦合到阵列的至少一个相邻谐振器，每个细长梁部分经由弯曲/圆角部分在远端连接到另一细长梁部分，形成几何形状，耦合部分设置于相邻谐振器的细长梁部分之间。在被诱发时，谐振器在组合的伸长/呼吸和弯曲模式下以基本相同的频率振动，(即，梁部分表现出像伸长/呼吸那样和像弯曲那样的运动)。一个或多个阵列结构的谐振器可以在结构的弯曲部分的一个或多个区域中包括一个或多个节点(即，基本静止和/或几乎不运动)，这些是将谐振器/阵列锚定到基底的适当和/或优选位置。
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公开(公告)号：CN101401303A
公开(公告)日：2009-04-01
申请号：CN200780008457.5
申请日：2007-03-08
申请人： NXP股份有限公司
IPC分类号： H03H9/02
CPC分类号： H03H9/02259 , H03H3/0076 , H03H9/2405 , H03H9/505 , H03H2009/02503
摘要： 本发明涉及具有至少一种谐振器模式形状的MEMS谐振器，所述MEMS谐振器包括：具有表面(12)的衬底(2)和谐振器结构(1)，其中，谐振器结构(1)为衬底(2)的一部分，其特征在于谐振器结构(1)由第一闭合沟槽(3)和第二闭合沟槽(3)限定，第一沟槽(3)位于第二沟槽(3)内，以便在衬底(2)内形成管状结构(1)，并且仅沿与表面(12)平行的方向从衬底(2)释放谐振器结构(1)。本发明还涉及制造这种MEMS谐振器的方法。
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公开(公告)号：CN101223691A
公开(公告)日：2008-07-16
申请号：CN200680026110.9
申请日：2006-05-03
申请人： 罗伯特·博世有限公司
CPC分类号： H03H9/2431 , H03H9/02259 , H03H9/02338 , H03H9/02448 , H03H9/2405 , H03H2009/02354 , H03H2009/02496 , H03H2009/02503 , H03H2009/02511 , H03H2009/02527
摘要： 一种微机械谐振器结构，包括由弯曲或圆角部分连接的多个直的或基本上直的梁部分。每个细长的梁部分在其一端经由弯曲或圆角部分连接到另一细长的梁部分，从而形成具有经由弯曲或圆角部分相互连接的至少两个细长的梁部分的几何形状(例如，圆三角形形状、圆正方形或矩形形状)。所述结构包括在所述结构的弯曲部分的一个或多个部分或区域中的一个或多个节点或区域(即，在谐振器结构震荡期间，谐振器结构的静止的、几乎不经历运动、和/或基本静止的部分)。所述节点将谐振器结构锚定到基板的合适和/或优选的位置。在操作中，谐振器结构以伸长(或呼吸)模式和弯曲模式的组合方式振荡；也就是说，梁部分(其以相同频率振荡或振动)呈现伸长状(或呼吸状)运动和弯曲状运动。
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公开(公告)号：CN1625046A
公开(公告)日：2005-06-08
申请号：CN200410095586.0
申请日：2004-12-02
申请人： 精工爱普生株式会社
CPC分类号： H03H9/2431 , H03H3/0072 , H03H9/02259 , H03H9/02433 , H03H9/1057 , H03H9/2436 , H03H9/2457 , H03H9/2463 , H03H2009/02496 , H03H2009/02503 , H03H2009/02519
摘要： 本发明提供一种微型机械式静电振子(100)，其具有：板状振动体(105)；分别相对配置在振动体的两侧并且相对振动体的外周部具有空隙(106)的一对电极(107、107)；向该一对电极施加同相交流电力的供电单元(110)；获得与振动体和电极之间的静电电容的变化对应的输出的检测单元(103、120)，其特征在于，振动体的平面形状形成为具有包括中间变细的曲线状轮廓部的形状。与以往技术相比，本发明的微型机械式静电振子容易实现高频化、能够增大输出电压相对输入电压的比、并可以降低驱动电压和节省电力。
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公开(公告)号：CN104737449B
公开(公告)日：2017-12-08
申请号：CN201380054292.0
申请日：2013-08-26
申请人： 追踪有限公司
发明人： 左诚杰 , 龙海·金 , 章汉·霍比·云 , 朴相俊 , 菲利普·贾森·斯蒂法诺 , 智升·罗 , 罗伯特·保罗·米库尔卡 , 马里奥·弗朗西斯科·韦莱兹 , 其他发明人请求不公开姓名
CPC分类号： H03H9/02157 , H03H9/02574 , H03H9/205 , H03H9/2405 , H03H2009/02503 , H03H2009/02527 , H03H2009/241
摘要： 本发明提供与声学谐振器相关的系统、方法及设备，所述声学谐振器包含用于使得能够选择性地调谐一或多个声学或机电性质的复合转换层(116，118)。在一方面，谐振器结构包含一或多个第一电极(142)、一或多个第二电极(144)及布置于所述第一及第二电极之间的转换层(116，118)。所述转换层包含多个构成层。在一些实施方案中，所述构成层包含一或多个第一压电层及一或多个第二压电层。所述转换层经配置以响应于被提供到所述第一及第二电极的信号提供具有沿着z轴的位移分量的所述转换层的至少第一振动模式及具有沿着x轴及y轴的平面的位移分量的所述转换层的至少第二振动模式。
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公开(公告)号：CN107093998A
公开(公告)日：2017-08-25
申请号：CN201611241835.1
申请日：2012-09-20
申请人： 追踪有限公司
发明人： 左诚杰 , 长汉·运 , 智升·罗 , 卫斯里·纳桑尼尔·艾伦 , 马里奥·弗朗西斯科·韦莱兹 , 龙海·金
CPC分类号： H03H9/462 , H03H9/02228 , H03H9/2405 , H03H9/2426 , H03H2009/02503 , H03H2009/241
摘要： 本发明揭示横截面扩张模式共振器。所述扩张模式共振器包含第一电极层、第二电极层及由压电材料形成的压电层。所述压电层具有包含以下各项的尺寸：在X轴与垂直于所述X轴的Y轴的平面中的横向距离D以及沿垂直于所述X轴及所述Y轴的Z轴的厚度T。所述厚度与所述横向距离的数值比T/D经配置以响应于提供到所述电极中的一者或一者以上的信号而提供所述压电层的具有沿所述Z轴及沿所述X轴与所述Y轴的所述平面的位移的振动模式。梯式滤波器电路可构造有扩张模式共振器作为串联及/或分路元件，且所述共振器可具有螺旋配置。
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公开(公告)号：CN101946400B
公开(公告)日：2014-10-01
申请号：CN200880127024.6
申请日：2008-11-26
申请人： 罗伯特·博世有限公司
CPC分类号： H03H9/02244 , B81B3/007 , B81B3/0072 , B81B2201/0271 , B81B2203/0109 , B81B2203/0163 , H03H3/0076 , H03H9/02338 , H03H2009/0233 , H03H2009/02496 , H03H2009/02503
摘要： 本发明提供一种微机电谐振器，所述微机电谐振器可以包括以体模式振动并且包括分别具有密度的第一多个区域以及分别具有密度的第二多个区域的一个或者多个谐振器块，所述第二多个区域中的每一个区域的所述密度与所述第一多个区域中的每一个区域的所述密度不同。可以将所述第二多个区域设置成非均匀结构。所述振动可以包括第一状态，在所述第一状态下，所述谐振器块至少部分沿第一和/或第二方向收缩，并且至少部分沿第三和/或第四方向膨胀，所述第二方向与所述第一方向相反，所述第四方向与所述第三方向相反。
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