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公开(公告)号：CN108656748A
公开(公告)日：2018-10-16
申请号：CN201810159607.2
申请日：2018-02-26
申请人： 精工爱普生株式会社
IPC分类号： B41J2/14 , H01L41/047
摘要： 本发明提供一种在抑制大型化的同时抑制了对置的配线间的短路的压电器件、MEMS器件、液体喷射头以及液体喷出装置。压电器件(致动器单元14)具有：第一基板(压力室形成基板29、振动板31)，其具备压电体层(38)以及至少一部分层压在压电体层(38)上的第一配线(上电极层39)；以及第二基板(密封板33)，其具备被施加与第一配线(上电极层39)不同的电信号的第二配线(下表面侧配线47)，第一配线(上电极层39)与第二配线(下表面侧配线47)以隔开间隔的方式对置，所述压电器件(致动器单元14)的特征在于，第一配线(上电极层39)和第二配线(下表面侧配线47)中的至少一方的配线中的至少一部分被具有绝缘性的保护层(55)覆盖。
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公开(公告)号：CN107539944A
公开(公告)日：2018-01-05
申请号：CN201710485605.8
申请日：2017-06-23
申请人： 精工爱普生株式会社
CPC分类号： B41J2/14201 , B41J2/04581 , B41J2/1404 , B41J2/14072 , B41J2/14088 , B41J2/1433 , B41J2/1607 , B41J2002/14491 , B41J2202/18
摘要： 本发明提供一种能够抑制埋入配线中的碟形凹陷的MEMS器件及其制造方法、液体喷射头以及液体喷射装置。所述MEMS器件的特征在于，具备：配线(46)，其通过在于基板(33)的第一面开口的凹部(47)中埋入导电部(48)而形成；和凸块电极(42)，其与配线电连接，在第一面上的与配线所延伸的第一方向交叉的第二方向上，配线与凸块电极被连接的连接区域内的凹部的开口的总宽度窄于连接区域以外的区域内的凹部的开口宽度。
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公开(公告)号：CN110114221A
公开(公告)日：2019-08-09
申请号：CN201780078445.3
申请日：2017-12-05
申请人： 精工爱普生株式会社
摘要： 本发明提供一种能够提高可靠性的MEMS装置、液体喷射头、液体喷射装置、MEMS装置的制造方法、液体喷射头的制造方法以及液体喷射装置的制造方法。该MEMS装置(记录头3)的特征在于，具备：第一基板(压力室形成基板29)，其上层叠有能够进行可挠变形的薄膜部件(振动板31)；第二基板(密封板33)，其以相对于第一基板(压力室形成基板29)而隔开间隔的方式被配置；粘合层(43)，其将第一基板(压力室形成基板29)和第二基板(密封板33)粘合在一起，在第一基板(压力室形成基板29)的面内方向上，薄膜部件(振动板31)的端缘被延伸设置至与第一基板(压力室形成基板29)的端缘相比靠外侧处。
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公开(公告)号：CN106994824A
公开(公告)日：2017-08-01
申请号：CN201610894441.X
申请日：2016-10-13
申请人： 精工爱普生株式会社
摘要： 本发明提供一种液体喷射头以及液体喷射头的制造方法，即使施加有热量或外力等，也能够对贯穿配线从贯穿孔伸出的情况进行抑制。液体喷射头具备：压力室形成基板(29)，其上设置有压电元件(32)；密封板(33)，其第一面(35)上连接有压力室形成基板(29)，密封板(33)具备在板厚方向上贯穿该密封板(33)的贯穿孔(44)以及形成在该贯穿孔(44)的内部的由导体构成的贯穿配线(45)，贯穿孔(44)以及贯穿配线(45)的在与第一面(35)平行的面上的截面面积从密封板(33)的板厚方向上的中途趋向第一面(35)以及与第一面(35)相反的一侧的第二面(36)而变大。
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公开(公告)号：CN106553450A
公开(公告)日：2017-04-05
申请号：CN201610677838.3
申请日：2016-08-16
申请人： 精工爱普生株式会社
摘要： 本发明提供电子设备、液体喷出头、以及电子设备的制造方法，其能够抑制可动区域的裂纹等损伤，并且使振动特性一致。该电子设备的特征在于，多个基板以被层压的状态被相互接合在一起，在多个基板中的一个基板(16)上形成有空间(26)，对所述空间进行划分的面中的一面为可动区域(17)，所述可动区域具有从空间侧凹陷至可动区域的厚度方向的中途为止的凹部(38)，在与基板层压方向垂直的方向上，凹部的内部尺寸大于空间的内部尺寸，一个基板中的对空间进行划分的壁、与凹部的底面的至少一部分通过粘合剂(21)而被粘合。
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公开(公告)号：CN111084637B
公开(公告)日：2023-01-03
申请号：CN201911013466.4
申请日：2019-10-23
申请人： 精工爱普生株式会社
摘要： 本发明提供了能够得到所期望的声音特性的超声波元件及超声波装置。超声波元件具备：元件基板，具有第一面、与第一面成为表里关系的第二面、贯通第一面至第二面的开口部以及包围开口部的隔壁部；支承膜，设置在元件基板的第一面且覆盖开口部，并具有面对开口部的第三面以及与第三面成为表里关系的第四面；压电元件，设置在支承膜的第四面，在从第三面朝向第四面的膜厚方向进行俯视观察时，配置在支承膜的与开口部重叠的区域；保护板，设置成与支承膜的第四面对置，通过粘合部件经由朝向支承膜突出的梁部接合至支承膜；以及壁部，设置在支承膜的第四面，在梁部和压电元件之间设置成朝向保护板突出。
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公开(公告)号：CN107020843B
公开(公告)日：2020-05-05
申请号：CN201710063639.8
申请日：2017-02-03
申请人： 精工爱普生株式会社
IPC分类号： B41J29/00
摘要： 本发明提供一种抑制了贯穿配线的位置偏移，且抑制了贯穿配线的高电阻化的配线基板、MEMS装置、液体喷射头以及液体喷射装置。本发明为在至少一个面上具有表面配线(31)的配线基板(30)，且具备：贯穿孔(303)，其贯穿配线基板(30)；贯穿配线(33)，其被形成在贯穿孔(303)中，且与表面配线(31)连接，贯穿孔(303)的内表面为粗糙面，贯穿配线(33)的电阻在表面配线(31)的电阻以下。
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公开(公告)号：CN107020843A
公开(公告)日：2017-08-08
申请号：CN201710063639.8
申请日：2017-02-03
申请人： 精工爱普生株式会社
IPC分类号： B41J29/00
摘要： 本发明提供一种抑制了贯穿配线的位置偏移，且抑制了贯穿配线的高电阻化的配线基板、MEMS装置、液体喷射头以及液体喷射装置。本发明为在至少一个面上具有表面配线(31)的配线基板(30)，且具备：贯穿孔(303)，其贯穿配线基板(30)；贯穿配线(33)，其被形成在贯穿孔(303)中，且与表面配线(31)连接，贯穿孔(303)的内表面为粗糙面，贯穿配线(33)的电阻在表面配线(31)的电阻以下。
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公开(公告)号：CN107539944B
公开(公告)日：2023-03-21
申请号：CN201710485605.8
申请日：2017-06-23
申请人： 精工爱普生株式会社
摘要： 本发明提供一种能够抑制埋入配线中的碟形凹陷的MEMS器件及其制造方法、液体喷射头以及液体喷射装置。所述MEMS器件的特征在于，具备：配线(46)，其通过在于基板(33)的第一面开口的凹部(47)中埋入导电部(48)而形成；和凸块电极(42)，其与配线电连接，在第一面上的与配线所延伸的第一方向交叉的第二方向上，配线与凸块电极被连接的连接区域内的凹部的开口的总宽度窄于连接区域以外的区域内的凹部的开口宽度。
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公开(公告)号：CN111715501A
公开(公告)日：2020-09-29
申请号：CN202010192790.3
申请日：2020-03-18
申请人： 精工爱普生株式会社
摘要： 本发明涉及微机电系统器件及电子设备。在接合第一部件及第二部件并将用于连通设置于第一部件及第二部件之间的密封空间与外部空间的连通部设置于第二部件时，第一部件和第二部件有可能破损。为此，微机电系统器件具备：第一部件；第二部件，在与所述第一部件之间形成密封空间；以及第三部件，配置于所述第一部件与所述第二部件之间，并接合于所述第一部件及所述第二部件，所述第三部件比所述第一部件及所述第二部件的刚度小，所述第三部件设有连通所述密封空间与外部空间的连通部。
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