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公开(公告)号：CN103429417A
公开(公告)日：2013-12-04
申请号：CN201280014141.8
申请日：2012-05-15
申请人： 综研化学株式会社
IPC分类号： B29C59/02 , B29C33/40 , H01L21/027
CPC分类号： B29C33/424 , B29C33/405 , B29K2883/00 , G03F7/0002 , Y10T428/24479
摘要： 本发明的曲面用纳米压印用模具的特征是由250μm厚的Hs橡胶硬度在10～55的范围内的有机硅橡胶弹性体构成，且在表面形成有微细的凹凸。根据本发明的曲面用纳米压印用模具，即使对曲面也能形成纳米压印。
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公开(公告)号：CN103052492A
公开(公告)日：2013-04-17
申请号：CN201180037828.9
申请日：2011-08-03
申请人： 综研化学株式会社
IPC分类号： B29C59/02 , B29C33/40 , H01L21/027 , B29K27/12 , B29K83/00
CPC分类号： B29C59/02 , B29C33/38 , B29C33/40 , B29C2059/023 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/0002
摘要： 一种具有表面形成了微细凹凸的树脂层的纳米压印用树脂制模具，其特征在于，该树脂层由1～49重量份的硅氧烷类大分子单体和/或氟类大分子单体与、99～51重量份的选自(甲基)丙烯酸类单体、苯乙烯类单体、环氧类单体、烯烃类单体和聚碳酸酯类树脂形成单体中的至少一种聚合性单体形成，该硅氧烷类大分子单体和/或氟类大分子单体的分子量在600～10000的范围内，同时，该大分子单体的分子末端具有能与聚合性单体共聚的反应性基团，该反应性基团与上述聚合性基团共聚时，构成上述大分子单体的硅氧烷类单元或氟类单元形成相对于由聚合性单体和大分子单体形成的主干聚合物形成侧链。
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公开(公告)号：CN102470565A
公开(公告)日：2012-05-23
申请号：CN201080032803.5
申请日：2010-08-06
申请人： 综研化学株式会社
IPC分类号： B29C33/40 , B29C59/02 , H01L21/027
CPC分类号： G03F7/0002 , B29C33/40 , B29C33/424 , B29C33/56 , B29C33/60 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/11
摘要： 本发明的课题为提供一种无转印缺陷、与进行压印的树脂之间的剥离性优良且没有由压印产生的缺陷的压印用树脂制模具。本发明的压印用树脂制模具的特征在于，包括表面上具有凹凸图案的树脂层、在上述树脂层的至少具有凹凸图案的表面上以均匀的厚度形成的无机物层和在上述无机物层的至少具有凹凸图案的表面上以均匀的厚度形成的脱模剂层。
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公开(公告)号：CN103068556B
公开(公告)日：2015-07-22
申请号：CN201180038661.8
申请日：2011-08-03
申请人： 综研化学株式会社
IPC分类号： B29C59/02 , B29C33/40 , B29C33/56 , H01L21/027 , B29K33/04
CPC分类号： B29C59/005 , B29C33/40 , B29C33/424 , B29C33/56 , B29C2033/426 , B29C2059/023 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/0002
摘要： 本发明的课题为提供一种无转印缺陷、与进行压印的树脂的脱模性优良且不会因压印而产生缺陷的纳米压印用树脂制模具。本发明的课题还在于提供压印时不会发生基板和各层的剥离的纳米压印树脂制模具。本发明的纳米压印用树脂制模具的特征在于，具有基板、形成在上述基板上且表面具有凹凸图案的树脂层、在上述树脂层的至少具有凹凸图案的面上以均匀的厚度形成的无机物层以及在上述无机物层的至少具有凹凸图案的面上以均匀的厚度形成的脱模剂层，上述树脂层的树脂相对于全部构成单元含有1～50%由含环氧基不饱和化合物衍生的构成单元，环氧值为7.0×10-4～4.0×10-2。
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公开(公告)号：CN103068556A
公开(公告)日：2013-04-24
申请号：CN201180038661.8
申请日：2011-08-03
申请人： 综研化学株式会社
IPC分类号： B29C59/02 , B29C33/40 , B29C33/56 , H01L21/027 , B29K33/04
CPC分类号： B29C59/005 , B29C33/40 , B29C33/424 , B29C33/56 , B29C2033/426 , B29C2059/023 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/0002
摘要： 本发明的课题为提供一种无转印缺陷、与进行压印的树脂的脱模性优良且不会因压印而产生缺陷的纳米压印用树脂制模具。本发明的课题还在于提供压印时不会发生基板和各层的剥离的纳米压印树脂制模具。本发明的纳米压印用树脂制模具的特征在于，具有基板、形成在上述基板上且表面具有凹凸图案的树脂层、在上述树脂层的至少具有凹凸图案的面上以均匀的厚度形成的无机物层以及在上述无机物层的至少具有凹凸图案的面上以均匀的厚度形成的脱模剂层，上述树脂层的树脂相对于全部构成单元含有1～50%由含环氧基不饱和化合物衍生的构成单元，环氧值为7.0×10-4～4.0×10-2。
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公开(公告)号：CN102470565B
公开(公告)日：2015-04-29
申请号：CN201080032803.5
申请日：2010-08-06
申请人： 综研化学株式会社
IPC分类号： B29C33/40 , B29C59/02 , H01L21/027
CPC分类号： G03F7/0002 , B29C33/40 , B29C33/424 , B29C33/56 , B29C33/60 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/11
摘要： 本发明的课题为提供一种无转印缺陷、与进行压印的树脂之间的剥离性优良且没有由压印产生的缺陷的压印用树脂制模具。本发明的压印用树脂制模具的特征在于，包括表面上具有凹凸图案的树脂层、在上述树脂层的至少具有凹凸图案的表面上以均匀的厚度形成的无机物层和在上述无机物层的至少具有凹凸图案的表面上以均匀的厚度形成的脱模剂层。
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公开(公告)号：CN103052492B
公开(公告)日：2014-12-31
申请号：CN201180037828.9
申请日：2011-08-03
申请人： 综研化学株式会社
IPC分类号： B29C59/02 , B29C33/40 , H01L21/027 , B29K27/12 , B29K83/00
CPC分类号： B29C59/02 , B29C33/38 , B29C33/40 , B29C2059/023 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/0002
摘要： 一种具有表面形成了微细凹凸的树脂层的纳米压印用树脂制模具，其特征在于，该树脂层由1～49重量份的硅氧烷类大分子单体和/或氟类大分子单体与、99～51重量份的选自(甲基)丙烯酸类单体、苯乙烯类单体、环氧类单体、烯烃类单体和聚碳酸酯类树脂形成单体中的至少一种聚合性单体形成，该硅氧烷类大分子单体和/或氟类大分子单体的分子量在600～10000的范围内，同时，该大分子单体的分子末端具有能与聚合性单体共聚的反应性基团，该反应性基团与上述聚合性基团共聚时，构成上述大分子单体的硅氧烷类单元或氟类单元形成相对于由聚合性单体和大分子单体形成的主干聚合物形成侧链。
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公开(公告)号：CN108473929A
公开(公告)日：2018-08-31
申请号：CN201780007100.9
申请日：2017-01-19
申请人： 综研化学株式会社
摘要： 提供一种细胞培养基板及其制造方法。可以用容易得到的材料简便地制作，且可以以高的存活率培养均匀细胞块的复合图案培养基板。根据本发明的几个方式，提供一种细胞培养基板，该细胞培养基板具有粘接性部位和非粘接性部位，所述粘接性部位和所述非粘接性部位具有凹凸形状，所述非粘接性部位对纯水的接触角比所述粘接性部位大。
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公开(公告)号：CN104903072A
公开(公告)日：2015-09-09
申请号：CN201380060898.5
申请日：2013-11-18
申请人： 综研化学株式会社
IPC分类号： B29C59/04 , B29C33/38 , H01L21/027
CPC分类号： B29C41/36 , B05D3/067 , B29C33/3842 , B29C33/3878 , B29C33/424 , B29C37/0067 , B29C53/562 , B29C59/02 , B29C59/04 , B29C2033/385 , B29C2035/0827 , B29C2059/023 , B29D99/0035 , B29L2031/757
摘要： 本发明提供一种可以防止转印树脂向薄膜模具的接合部上的堆积的压印用模具的制造方法。根据本发明，可以提供一种压印用模具的制造方法，其具备：卷绕工序，将形成有所需的微细的凹凸图案的反转图案的树脂制的薄膜模具以在两端的对接部中形成不存在所述反转图案的间隙的方式，卷绕在圆柱状的转印辊上；树脂填充工序，向所述间隙中填充树脂组合物；图案形成工序，在所述树脂组合物中，形成与所述反转图案实质上相同的图案。
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公开(公告)号：CN103079788B
公开(公告)日：2015-06-10
申请号：CN201180038599.2
申请日：2011-08-03
申请人： 综研化学株式会社
IPC分类号： B29C33/40 , B29C33/58 , B29C59/02 , H01L21/027
CPC分类号： B29C59/002 , B29C33/40 , B29C33/424 , B29C33/62 , B29C43/003 , B29C43/08 , B29C43/085 , B29C59/026 , B29C59/046 , B29C2043/023 , B29C2043/025 , B29C2059/023 , B82Y10/00 , B82Y30/00 , B82Y40/00 , B82Y99/00 , G03F7/0002
摘要： 本发明的课题在于提供一种无转印缺陷、与压印的树脂之间的剥离性优良且不会由于压印而发生脱模剂的脱落的树脂制模具。本发明的树脂制模具是具有表面形成了凹凸图案的树脂层和以均匀厚度在该树脂层的至少凹凸图案的表面上形成的含有脱模剂的剥离层的树脂制模具，其特征在于，上述树脂层含有溶剂可溶性树脂和添加剂，其中，上述添加剂具有能与上述脱模剂键合的取代基且具有与上述溶剂可溶性树脂具有相溶性的取代基、而且对溶剂可溶性树脂具有渗透性，上述添加剂较多地存在于上述树脂层表面附近，上述添加剂的能与脱模剂键合的基团与上述脱模剂缩合从而将上述树脂层与剥离层接合。
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