除去对麦克风电源抑制的3D寄生效应

    公开(公告)号:CN105981406B

    公开(公告)日:2019-10-18

    申请号:CN201480075612.5

    申请日:2014-12-18

    Abstract: 描述一种MEMS麦克风封装,其包括具有相对于麦克风封装的前置放大器几乎相等的3D寄生电容的第一节点和第二节点,使得在第一节点上生成的任何噪声等于在第二节点上生成的任何噪声。外部电源被连接到第一节点并且经由第一节点向MEMS麦克风封装提供偏压信号。反相放大器被连接在电源与第二节点之间。第三节点通过封装寄生电容器被连接到第一节点,而第二节点通过预期的寄生电容器或者显式电容器被连接到第三节点。从外部电源耦合到第三节点的噪声然后通过将反相电源噪声总计到该第三节点中而被消除。

    用于机电电容式传感器的集成自测试

    公开(公告)号:CN106105264A

    公开(公告)日:2016-11-09

    申请号:CN201580013686.0

    申请日:2015-02-24

    Inventor: J.M.穆扎

    CPC classification number: H04R29/004 H04R19/005 H04R19/04 H04R2201/003

    Abstract: 一种自测试机电电容式传感器系统。系统包括机电电容式传感器和控制器。控制器被配置成接收用来激活测试模式的信号,并且当接收用来激活测试模式的信号时:(a)向机电电容式传感器施加偏置电压阶跃,(b)测量作为时间的函数的机电电容式传感器的振膜针对偏置电压的对应偏移,并且针对偏置电压的多个量值重复步骤(a)和(b)以确定机电电容式传感器的至少一个性能参数。

    用于生产中的MEMS扩音器的所有电噪声测试的系统和方法

    公开(公告)号:CN106068654B

    公开(公告)日:2020-01-31

    申请号:CN201580013688.X

    申请日:2015-02-24

    Inventor: J.M.穆扎

    Abstract: 公开了用于多薄膜微机电系统(MEMS)扩音器中的噪声的电测试的系统和方法。该MEMS系统具有测试模式,其包括将扩音器的MEMS偏置网络置于重置模式中,调整用于第一MEMS传感器的第一偏压,使得极性与第二MEMS传感器的偏压的极性匹配。然后将MEMS偏置网络置于感测模式中,并且通过系统的前置放大器的输出的测量而针对MEMS扩音器系统获得总噪声值。

    除去对麦克风电源抑制的3D寄生效应

    公开(公告)号:CN105981406A

    公开(公告)日:2016-09-28

    申请号:CN201480075612.5

    申请日:2014-12-18

    Abstract: 描述一种MEMS麦克风封装,其包括具有相对于麦克风封装的前置放大器几乎相等的3D寄生电容的第一节点和第二节点,使得在第一节点上生成的任何噪声等于在第二节点上生成的任何噪声。外部电源被连接到第一节点并且经由第一节点向MEMS麦克风封装提供偏压信号。反相放大器被连接在电源与第二节点之间。第三节点通过封装寄生电容器被连接到第一节点,而第二节点通过预期的寄生电容器或者显式电容器被连接到第三节点。从外部电源耦合到第三节点的噪声然后通过将反相电源噪声总计到该第三节点中而被消除。

    用于生产中的MEMS扩音器的所有电噪声测试的系统和方法

    公开(公告)号:CN106068654A

    公开(公告)日:2016-11-02

    申请号:CN201580013688.X

    申请日:2015-02-24

    Inventor: J.M.穆扎

    Abstract: 公开了用于多薄膜微机电系统(MEMS)扩音器中的噪声的电测试的系统和方法。该MEMS系统具有测试模式,其包括将扩音器的MEMS偏置网络置于重置模式中,调整用于第一MEMS传感器的第一偏压,使得极性与第二MEMS传感器的偏压的极性匹配。然后将MEMS偏置网络置于感测模式中,并且通过系统的前置放大器的输出的测量而针对MEMS扩音器系统获得总噪声值。

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