转动率传感器装置的耦合结构、转动率传感器装置和制造方法

    公开(公告)号:CN102165283A

    公开(公告)日:2011-08-24

    申请号:CN200980137896.5

    申请日:2009-08-05

    CPC classification number: G01C19/56 Y10T29/49826

    Abstract: 本发明涉及一种用于转动率传感器装置的耦合结构(40),包括:至少一个第一振动质量(42a),包围第一振动质量(42a)的第一框架,第一振动质量(42a)耦合到第一框架上;其中,第一框架包括四个角形元件(10a,10b,10c,10d),这些角形元件(10a,10b,10c,10d)中的每个具有至少一个第一臂和至少一个第二臂并以第一臂和第二臂分别耦合到这四个角形元件(10a,10b,10c,10d)中的另一个相邻的角形元件(10a,10b,10c,10d)上。本发明还涉及另一种用于转动率传感器装置的耦合结构(40)、转动率传感器、用于转动率传感器装置的耦合结构(40)的制造方法以及用于转动率传感器装置的制造方法。

    旋转速率传感器
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102735229A

    公开(公告)日:2012-10-17

    申请号:CN201210088784.9

    申请日:2012-03-29

    CPC classification number: G01C19/5747

    Abstract: 本发明涉及一种具有第一科氏元件和第二科氏元件的旋转速率传感器和用于运行该旋转速率传感器的方法,其中,所述旋转速率传感器具有带有主延伸平面的衬底,所述旋转速率传感器具有用于平行于第二轴驱动所述第一科氏元件的第一驱动元件,所述旋转速率传感器具有用于平行于第二轴驱动所述第二科氏元件的第二驱动元件,所述旋转速率传感器具有用于检测所述第一科氏元件和所述第二科氏元件由于科氏力而平行于第一轴的偏转的检测装置,所述第二轴垂直于所述第一轴设置,所述第一轴和所述第二轴平行于所述主延伸平面设置,并且所述第一驱动元件和所述第二驱动元件通过驱动耦合元件机械地相互耦合。

    旋转速率传感器
    3.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102735229B

    公开(公告)日:2017-11-17

    申请号:CN201210088784.9

    申请日:2012-03-29

    CPC classification number: G01C19/5747

    Abstract: 本发明涉及一种具有第一科氏元件和第二科氏元件的旋转速率传感器和用于运行该旋转速率传感器的方法,其中,所述旋转速率传感器具有带有主延伸平面的衬底,所述旋转速率传感器具有用于平行于第二轴驱动所述第一科氏元件的第一驱动元件,所述旋转速率传感器具有用于平行于第二轴驱动所述第二科氏元件的第二驱动元件,所述旋转速率传感器具有用于检测所述第一科氏元件和所述第二科氏元件由于科氏力而平行于第一轴的偏转的检测装置,所述第二轴垂直于所述第一轴设置,所述第一轴和所述第二轴平行于所述主延伸平面设置,并且所述第一驱动元件和所述第二驱动元件通过驱动耦合元件机械地相互耦合。

    转动率传感器装置的耦合结构、转动率传感器装置和制造方法

    公开(公告)号:CN102165283B

    公开(公告)日:2014-09-17

    申请号:CN200980137896.5

    申请日:2009-08-05

    CPC classification number: G01C19/56 Y10T29/49826

    Abstract: 本发明涉及一种用于转动率传感器装置的耦合结构(40),包括:至少一个第一振动质量(42a),包围第一振动质量(42a)的第一框架,第一振动质量(42a)耦合到第一框架上;其中,第一框架包括四个角形元件(10a,10b,10c,10d),这些角形元件(10a,10b,10c,10d)中的每个具有至少一个第一臂和至少一个第二臂并以第一臂和第二臂分别耦合到这四个角形元件(10a,10b,10c,10d)中的另一个相邻的角形元件(10a,10b,10c,10d)上。本发明还涉及另一种用于转动率传感器装置的耦合结构(40)、转动率传感器、用于转动率传感器装置的耦合结构(40)的制造方法以及用于转动率传感器装置的制造方法。

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