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公开(公告)号:CN102387983B
公开(公告)日:2014-12-10
申请号:CN200980129796.8
申请日:2009-06-15
Applicant: 罗伯特.博世有限公司
IPC: B81B3/00
CPC classification number: B81B3/0037 , B81B2201/033 , H02N1/008
Abstract: 本发明涉及一种微机械结构(1),尤其是传感器或执行器,包括至少一个由至少两个可相互相对调节的结构部段(6,7,8,9)限制的工作间隙(4,5)和包括用于调整该工作间隙宽度的机构。按照本发明规定,该机构通过对至少一个在微机械结构(1)运行期间相对于一个参照点固定的结构部段(6,7)相对于在运行中相对于这个参照点可运动的结构部段(8,9)进行调节来扩宽该工作间隙(4,5)。本发明此外涉及一种用于调整工作间隙宽度的方法。
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公开(公告)号:CN102387983A
公开(公告)日:2012-03-21
申请号:CN200980129796.8
申请日:2009-06-15
Applicant: 罗伯特.博世有限公司
IPC: B81B3/00
CPC classification number: B81B3/0037 , B81B2201/033 , H02N1/008
Abstract: 本发明涉及一种微机械结构(1),尤其是传感器或执行器,包括至少一个由至少两个可相互相对调节的结构部段(6,7,8,9)限制的工作间隙(4,5)和包括用于调整该工作间隙宽度的机构。按照本发明规定,该机构通过对至少一个在微机械结构(1)运行期间相对于一个参照点固定的结构部段(6,7)相对于在运行中相对于这个参照点可运动的结构部段(8,9)进行调节来扩宽该工作间隙(4,5)。本发明此外涉及一种用于调整工作间隙宽度的方法。
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