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发明公开
通过近紫外辐射在高解像力的酸硬化抗光蚀剂中采用选择的光活性化合物的方法无效

公开(公告)号：CN1048931A

公开(公告)日：1991-01-30

申请号：CN90104923.9

申请日：1990-06-20

申请人： 罗姆和哈斯公司

发明人： 维尼·埃德曼得·菲雷

IPC分类号： G03F7/00 , G03C1/675

CPC分类号： G03F7/038 , Y10S430/121 , Y10S430/123 , Y10S430/126 , Y10S430/127

摘要： 本发明提供了一种方法，该方法是通过近紫外辐射曝光，在酸硬化抗光蚀剂中采用选择的光活性化合物来形成热稳定的，高解像力影像。这些光活性化合物可以被用作含卤光生酸产生剂的光敏化剂，单靠这些光生酸产生剂本身在通过近紫外辐射曝光后，是不能产生足够的酸来催化酸硬化树脂的交联的。这样的光活性化合物可以从以下一组物质中选出，它们包括：吩噻嗪，吩噻嗪的衍生物，吩嗪。