换能器及换能器的制造方法
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN119485131A

    公开(公告)日:2025-02-18

    申请号:CN202411075796.7

    申请日:2024-08-07

    Inventor: 铃木达也

    Abstract: 本发明提供一种能够适当地确保具有压电元件的振动部与周围的间隙的换能器及换能器的制造方法。本发明的一实施方式的换能器具备:支撑衬底,具有第1空腔;振动器件;以及盖体,具有第2空腔,并且通过粘接剂而与振动器件接合;且振动器件具有第1框部及振动部,振动部的一部分连接于第1框部,振动部中除其与第1框部的连接部以外的部分通过狭缝而与第1框部分离,盖体具有第2框部,第1空腔与第2空腔通过狭缝而连通,在第1接合面形成有凸部,在第1框部中与狭缝相向的内表面,形成有从第1接合面朝与盖体相反的一侧凹陷的第1阶差。

    换能器
    2.
    发明公开
    换能器 审中-实审

    公开(公告)号:CN116547231A

    公开(公告)日:2023-08-04

    申请号:CN202180081004.5

    申请日:2021-10-27

    Abstract: 本发明提供一种换能器(10A),包括含有硅的基板(20)、配置在基板(20)上的压电元件(30)。基板(20)包括:膜体部(21),其具有在厚度方向上相互面向相反方向的第一面(21a)和第二面(21b);和从厚度方向看膜体部(21)时包围膜体部(21)的框体部(22)。压电元件(30)配置在膜体部(21)的第一面(21a)上。从厚度方向看时的膜体部(21)的外边缘(21c)的一部分形成与框体部(22)连接的连接部(21d),连接部(21d)以外的外边缘(21c)的其余部分与框体部(22)分离。基板(20)具有从第二面(21b)之中的包含外边缘(21c)的其余部分的至少一部分的区域向厚度方向突出的突出部(24)。

    压电膜器件、换能器和压电膜器件的制造方法

    公开(公告)号:CN119486571A

    公开(公告)日:2025-02-18

    申请号:CN202411085662.3

    申请日:2024-08-08

    Inventor: 铃木达也

    Abstract: 压电膜器件(90)具备:基板(80),其具有相互朝向相反方向的下表面(81)和上表面(82);支承部(41),其支承下表面(81)并且固定于设置面;和压电膜(12),其设置于上表面(82),响应于施加偏置电压和驱动电压而与基板(80)一起在上下方向上位移,基板(80)具有支承于支承部(41)的第1区域(81x)和未被支承部(41)支承的第2区域(81y)作为下表面(81)的区域,在未施加偏置电压和驱动电压的状态下,基板(80)以第2区域(81y)位于比第1区域(81x)更靠近设置面侧(下侧)的方式翘曲地形成。

    层叠结构体及层叠结构体的制造方法

    公开(公告)号:CN116349250A

    公开(公告)日:2023-06-27

    申请号:CN202180068976.0

    申请日:2021-09-28

    Inventor: 铃木达也

    Abstract: 本发明提供一种层叠结构体及层叠结构体的制造方法。层叠结构体(10)包括:框体(20),其具有在厚度方向上相互面向相反方向的第一面(20a)和第二面(20b),该框体(20)具有由框体(20)支承的膜体(22)和位于膜体(22)与第二面(20b)之间且向第二面(20b)开口的中空部(21);盖体(30),其安装于框体(20),该盖体(30)具有位于膜体(22)之上的空腔(31)和与空腔(31)连通且形成在使膜体(22)的至少一部分露出于层叠结构体(10)的外部空间的位置的开口部(32)。盖体(30)包含形成于盖体(30)的面向框体(20)的表面(背面)(30b)的槽部(41A),空腔(31)与层叠结构体(10)的外部空间经由槽部(41A)连通。

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