公开(公告)号：CN101044409A

公开(公告)日：2007-09-26

申请号：CN200580032281.8

申请日：2005-08-10

申请人： 美商立海顿电子公司

发明人： 奥斯汀·R·布卢 ,  迈克尔·W·布龙科 ,  史蒂文·C·墨菲 ,  丹·恩古延 ,  尼古拉·埃伯哈特 ,  杰尔姆·C·利西尼 ,  威廉·祖德弗利特

IPC分类号： G01R27/04 ,  G01R27/32

CPC分类号： G01R27/2652 ,  G01N22/00 ,  G01R31/2648

摘要： 一用于非接触地测量薄层电荷密度和迁移率的装置(10)包括一微波源(16)，一圆波导(50)，用于向在一测量位置的一样本(59)，如用于平板显示器的一半导体晶片或板，传输微波功率，用于检测该正向微波功率的一第一检测器(18)，用于检测从该样本反射的微波功率的一第二检测器(23)，和用于检测霍尔效应功率的一第三检测器(95)。还提供一自动定位子系统(700)，用以在该测试装置(10)内自动定位一晶片(59)。该定位系统(700)包括一第一末端效应器(706)和一旋转－提升器(704)。该第一末端效应器(706)可夹持一薄片元件并将它移动到该测试装置(10)内的一所需位置，同时该旋转提升器(704)提供该薄片元件(59)的一θ角度逐渐增加的调节，以允许勿需手动调节该薄片元件的位置即可自动绘制一完整的薄片元件的图。一第二末端效应器(716)可对着该第一末端效应器(706)安装，且可用于在位于装置(10)的一相对末端的一薄层电阻测验模块(718)内自动放置该薄片元件(59)。

公开(公告)号：CN101044409B

公开(公告)日：2010-05-26

申请号：CN200580032281.8

申请日：2005-08-10

申请人： 美商立海顿电子公司

发明人： 奥斯汀·R·布卢 ,  迈克尔·W·布龙科 ,  史蒂文·C·墨菲 ,  丹·恩古延 ,  尼古拉·埃伯哈特 ,  杰尔姆·C·利西尼 ,  威廉·祖德弗利特

IPC分类号： G01R27/04 ,  G01R27/32

CPC分类号： G01R27/2652 ,  G01N22/00 ,  G01R31/2648

摘要： 一用于非接触地测量薄层电荷密度和迁移率的装置(10)包括一微波源(16)，一圆波导(50)，用于向在一测量位置的一样本(59)，如用于平板显示器的一半导体晶片或板，传输微波功率，用于检测该正向微波功率的一第一检测器(18)，用于检测从该样本反射的微波功率的一第二检测器(23)，和用于检测霍尔效应功率的一第三检测器(95)。还提供一自动定位子系统(700)，用以在该测试装置(10)内自动定位一晶片(59)。该定位系统(700)包括一第一末端效应器(706)和一旋转-提升器(704)。该第一末端效应器(706)可夹持一薄片元件并将它移动到该测试装置(10)内的一所需位置，同时该旋转提升器(704)提供该薄片元件(59)的一θ角度逐渐增加的调节，以允许勿需手动调节该薄片元件的位置即可自动绘制一完整的薄片元件的图。一第二末端效应器(716)可对着该第一末端效应器(706)安装，且可用于在位于装置(10)的一相对末端的一薄层电阻测验模块(718)内自动放置该薄片元件(59)。