公开(公告)号：CN104755948B

公开(公告)日：2018-04-10

申请号：CN201380052975.2

申请日：2013-10-10

Applicant: 美新公司

Inventor： 蔡永耀 ,  蒋乐越 ,  P·扎夫兰斯基 ,  Y·赵 ,  S·顾

IPC: G01R33/00

CPC classification number: G01R33/0206 ,  G01R33/00 ,  G01R33/0005 ,  G01R33/096

Abstract: 提供了一种三轴磁性传感器或磁力计。利用螺旋条状纹式AMR结构的两个磁性传感器惠斯通电桥被制作在凸块结构的相反侧，该凸块结构形成在基板上，以提供相对于基板的平坦表面处于预定角度的表面。电桥组件沿Y轴定向，并且各电桥被互连使得可以通过处理电桥信号来产生Y和Z通道信号。X通道信号由设置在基板的水平面上的X轴传感器提供。

公开(公告)号：CN104755948A

公开(公告)日：2015-07-01

申请号：CN201380052975.2

申请日：2013-10-10

Applicant: 美新公司

Inventor： 蔡永耀 ,  蒋乐越 ,  P·扎夫兰斯基 ,  Y·赵 ,  S·顾

IPC: G01R33/00

CPC classification number: G01R33/0206 ,  G01R33/00 ,  G01R33/0005 ,  G01R33/096

Abstract: 提供了一种三轴磁性传感器或磁力计。利用螺旋条状纹式AMR结构的两个磁性传感器惠斯通电桥被制作在凸块结构的相反侧，该凸块结构形成在基板上，以提供相对于基板的平坦表面处于预定角度的表面。电桥组件沿Y轴定向，并且各电桥被互连使得可以通过处理电桥信号来产生Y和Z通道信号。X通道信号由设置在基板的水平面上的X轴传感器提供。