公开(公告)号：CN107407590A

公开(公告)日：2017-11-28

申请号：CN201680011497.4

申请日：2016-02-19

Applicant: 美新公司

Inventor： T·O·马金尼斯 ,  N·J·佩恩 ,  Z·赵 ,  蔡永耀 ,  Y·赵

IPC: G01F25/00

Abstract: 本发明提供了一种用于测量流体的流率而无需对该特定流体进行流量传感器校准的MEMS热式流量传感器或热式流量计。对于已知热扩散率的校准流体，通过绘制传感器输出电压对体积流率除以流体热扩散率的曲线来确定响应曲线，并将该响应曲线存储在存储器中。采用转换因子来提供未知流体的正确流率的测量。该转换因子来自校准流体的热时间常数与被测量流体的热时间常数的比率，在零流量下测量这些时间常数。这些时间常数被存储在存储器中。

公开(公告)号：CN104204754B

公开(公告)日：2017-03-01

申请号：CN201380014771.X

申请日：2013-03-13

Applicant: 美新公司

Inventor： 赵阳 ,  刘海东 ,  蔡永耀 ,  李宗亚 ,  N·哈瓦特 ,  马军 ,  张峰 ,  段志伟 ,  蒋乐越

IPC: G01L9/12 ,  G01B7/16 ,  G11B5/127

CPC classification number: B23P17/04 ,  B32B3/16 ,  B32B7/04 ,  G01R33/0005 ,  G01R33/0052 ,  G01R33/02 ,  H01L2224/48091 ,  H01L2224/73265 ,  H05K1/181 ,  H05K2201/10151 ,  H05K2201/10515 ,  H05K2201/1053 ,  H05K2201/10537 ,  H05K2201/2036 ,  Y02P70/611 ,  Y10T29/49796 ,  H01L2924/00014

Abstract: 提供了一种可折叠衬底，该可折叠衬底包括具有第一上表面的第一衬底部分和具有第二上表面的第二衬底部分。可折叠桥接部将第一衬底部分接合至第二衬底部分。所述可折叠桥接部包括从第一衬底部分延伸至第二衬底部分的接合带，以及与接合带的一部分对应的间隙，其中所述间隙通过去除原始晶圆衬底的复数个部分而被限定在第一衬底部分和第二衬底部分之间。在一个实施方式中，所述第一和第二部分包括磁场传感器，并且可折叠桥接部能够被弯曲从而以相对于彼此的预定角度布置所述两个部分。一旦被弯曲，传感器封装就能够被合并至磁场传感器组件中以便与其它控制电路相集成。

公开(公告)号：CN104204754A

公开(公告)日：2014-12-10

申请号：CN201380014771.X

申请日：2013-03-13

Applicant: 美新公司

Inventor： 赵阳 ,  刘海东 ,  蔡永耀 ,  李宗亚 ,  N·哈瓦特 ,  马军 ,  张峰 ,  段志伟 ,  蒋乐越

IPC: G01L9/12 ,  G01B7/16 ,  G11B5/127

CPC classification number: B23P17/04 ,  B32B3/16 ,  B32B7/04 ,  G01R33/0005 ,  G01R33/0052 ,  G01R33/02 ,  H01L2224/48091 ,  H01L2224/73265 ,  H05K1/181 ,  H05K2201/10151 ,  H05K2201/10515 ,  H05K2201/1053 ,  H05K2201/10537 ,  H05K2201/2036 ,  Y02P70/611 ,  Y10T29/49796 ,  H01L2924/00014

Abstract: 提供了一种可折叠衬底，该可折叠衬底包括具有第一上表面的第一衬底部分和具有第二上表面的第二衬底部分。可折叠桥接部将第一衬底部分接合至第二衬底部分。所述可折叠桥接部包括从第一衬底部分延伸至第二衬底部分的接合带，以及与接合带的一部分对应的间隙，其中所述间隙通过去除原始晶圆衬底的复数个部分而被限定在第一衬底部分和第二衬底部分之间。在一个实施方式中，所述第一和第二部分包括磁场传感器，并且可折叠桥接部能够被弯曲从而以相对于彼此的预定角度布置所述两个部分。一旦被弯曲，传感器封装就能够被合并至磁场传感器组件中以便与其它控制电路相集成。

公开(公告)号：CN104755948B

公开(公告)日：2018-04-10

申请号：CN201380052975.2

申请日：2013-10-10

Applicant: 美新公司

Inventor： 蔡永耀 ,  蒋乐越 ,  P·扎夫兰斯基 ,  Y·赵 ,  S·顾

IPC: G01R33/00

CPC classification number: G01R33/0206 ,  G01R33/00 ,  G01R33/0005 ,  G01R33/096

Abstract: 提供了一种三轴磁性传感器或磁力计。利用螺旋条状纹式AMR结构的两个磁性传感器惠斯通电桥被制作在凸块结构的相反侧，该凸块结构形成在基板上，以提供相对于基板的平坦表面处于预定角度的表面。电桥组件沿Y轴定向，并且各电桥被互连使得可以通过处理电桥信号来产生Y和Z通道信号。X通道信号由设置在基板的水平面上的X轴传感器提供。

公开(公告)号：CN104755948A

公开(公告)日：2015-07-01

申请号：CN201380052975.2

申请日：2013-10-10

Applicant: 美新公司

Inventor： 蔡永耀 ,  蒋乐越 ,  P·扎夫兰斯基 ,  Y·赵 ,  S·顾

IPC: G01R33/00

CPC classification number: G01R33/0206 ,  G01R33/00 ,  G01R33/0005 ,  G01R33/096

Abstract: 提供了一种三轴磁性传感器或磁力计。利用螺旋条状纹式AMR结构的两个磁性传感器惠斯通电桥被制作在凸块结构的相反侧，该凸块结构形成在基板上，以提供相对于基板的平坦表面处于预定角度的表面。电桥组件沿Y轴定向，并且各电桥被互连使得可以通过处理电桥信号来产生Y和Z通道信号。X通道信号由设置在基板的水平面上的X轴传感器提供。