光学编码器用栅格板以及光学编码器用栅格板的制造方法

    公开(公告)号:CN106461424B

    公开(公告)日:2022-03-22

    申请号:CN201680001599.8

    申请日:2016-05-11

    发明人: 藤井武夫

    IPC分类号: G01D5/347

    摘要: 提供一种剥落性强、镀敷的均镀良好,并且能够实现高SN比的用于光学编码器的光学编码器用栅格板以及光学编码器用栅格板的制造方法,所述光学编码器使用可视光或者近红外光作为照射光,以30度~75度的角度对反射面照射照射光,接受由反射面反射的反射光,由此检测物体的位移量或者位移方向,所述光学编码器用栅格板具有将一方的表面(21)作为反射面的基材(20)、和在表面(21)以预定的栅格宽度排列的栅格(30),使用金属作为基材(20),利用黑色镀敷层形成栅格(30),使金属的表面(21)的平均粗糙度Ra为0.008μm~0.05μm的范围,使黑色镀敷层比3μm薄。

    光学编码器用栅格板以及光学编码器用栅格板的制造方法

    公开(公告)号:CN106461424A

    公开(公告)日:2017-02-22

    申请号:CN201680001599.8

    申请日:2016-05-11

    发明人: 藤井武夫

    IPC分类号: G01D5/347

    CPC分类号: G01D5/347

    摘要: 提供一种剥落性强、镀敷的均镀良好,并且能够实现高SN比的用于光学编码器的光学编码器用栅格板以及光学编码器用栅格板的制造方法,所述光学编码器使用可视光或者近红外光作为照射光,以30度~75度的角度对反射面照射照射光,接受由反射面反射的反射光,由此检测物体的位移量或者位移方向,所述光学编码器用栅格板具有将一方的表面(21)作为反射面的基材格(30),使用金属作为基材(20),利用黑色镀敷层形成栅格(30),使金属的表面(21)的平均粗糙度Ra为0.008μm~0.05μm的范围,使黑色镀敷层比3μm薄。(20)、和在表面(21)以预定的栅格宽度排列的栅